Electromigration in Al thin films induced by surface acousticwaves: application to imaging

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• 来源
  《IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control》 |1999年第4期|p.856-860|共5页
• 作者

  Tucoulou R.; Brunel M.; Roshchupkin D.V.; Schelokov I.A.; Colin J.; Grilhe J.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 声学工程;计量学;
• 关键词

  aluminium; electromigration; etching; metallic thin films; surface acoustic waves; surface diffusion; ultrasonic imaging; ultrasonic propagation; Al; Al thin film; Al thin films; acoustic field; dynamical Grinfeld instabilities; etched patterns; grooved structures; hig;

  机译：铝;电迁移;蚀刻;金属薄膜;表面声波;表面扩散;超声波成像;超声波传播;Al;Al薄膜;Al薄膜;声场;动态Grinfeld不稳定性;蚀刻图案;开槽结构;外形;