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首页> 外文期刊>IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control >Perturbation method for analyzing mass sensitivity of planar multilayer acoustic sensors
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Perturbation method for analyzing mass sensitivity of planar multilayer acoustic sensors

机译：分析平面多层声传感器质量灵敏度的摄动方法

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A perturbation method is developed to analyze the mass loading sensitivity of planar composite acoustic gravimetric sensors. The sensitivity formulas are obtained in explicit forms for the two lowest sagittal (D/sub 1/ and D/sub 2/) modes, the lowest shear horizontal (SH/sub 0/) mode and high-order SH/sub m/ modes in a two-layer isotropic composite plate sensor. The composite plate consists of a plate of thickness b coated by a film of thickness h on which the mass loading layer of infinitesimal thickness is deposited. This coating can be a chemically selective film which is assumed to be acoustically thin (h/spl Lt//spl lambda/), where /spl lambda/ is the acoustic wavelength. For Love modes supported by a film coated on a semi-infinite substrate and for Rayleigh modes on a semi-infinite substrate, the sensitivity formulas are expressed in analytical form. These formulas specify the contribution of each material parameter in the substrate and film, and of the elasticity of the mass loading layer for each planar sensor, and provide a general guide for enhancing the sensor sensitivity.
机译：提出了一种摄动方法来分析平面复合声重传感器的质量加载灵敏度。灵敏度公式以显式形式针对两种最低的矢状（D / sub 1 /和D / sub 2 /）模式，最低剪切水平（SH / sub 0 /）模式和高阶SH / sub m /模式获得在两层各向同性复合板传感器中。该复合板由厚度为b的板组成，并覆盖有厚度为h的膜，并在该膜上沉积厚度最小的质量加载层。该涂层可以是被认为在声学上很薄的化学选择性膜（h / spl Lt // spl lambda /），其中/ spl lambda /是声波波长。对于由涂布在半无限基片上的薄膜支撑的洛夫模，以及对于在半无限基片上的瑞利模，灵敏度公式以分析形式表示。这些公式指定了基板和薄膜中每种材料参数的贡献以及每种平面传感器的质量加载层的弹性，并为提高传感器灵敏度提供了一般指导。

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