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首页> 外文期刊>International Journal of Heat and Mass Transfer >Nanoslot Patterns for Enhanced Thermal Anisotropy of Si Thin Films
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Nanoslot Patterns for Enhanced Thermal Anisotropy of Si Thin Films

机译：用于增强Si薄膜热各向异性的纳米漆图案

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Materials with a large thermal anisotropy can be widely used to guide the heat flow for various energy-related applications. Other than the well-known thermal conductivity contrast along the in-plane and cross-plane directions of a thin film, the in-plane thermal anisotropy within a thin film is less emphasized. However, such a thermal anisotropy can be easily adopted for the thermal management of thin-film-based electronic devices in practice. In this work, two-dimensional Si thin films patterned with through-film nanoslots are studied for their enhanced in-plane thermal anisotropy. Specifically, the anisotropy of the nanoslot pattern can be further increased if rows of nanoslot patterns have an offset. Within the limitation of nanofabrication techniques, offset nanoslot patterns can provide more scopes for tailoring the transport properties. These nanoslot-patterned thin films can be widely used for applications such as heat guide, thermal insulation, and thermoelectrics.
机译：具有大热各向异性的材料可广泛用于引导各种能量相关应用的热流。除了沿着面内薄膜的平面内的众所周知的导热率对比，薄膜内的面内热各向异性不得不强调。然而，在实践中可以容易地采用这种热各向异性来用于薄膜基电子设备的热管理。在这项工作中，研究了用通膜纳米漆图案图案化的二维Si薄膜，用于其增强的面内热各向异性。具体地，如果纳米卷图案的行具有偏移，则可以进一步增加纳米卷图案的各向异性。在纳米制造技术的限制范围内，偏移纳米卷图案可以提供更多的范围来定制运输性质。这些纳米漆图案化的薄膜可广泛用于诸如导热导管，隔热和热电的应用。

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