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THE STRUCTURE PRINCIPLE OF SILICON MICROMACHINED GYROSCOPE DRIVEN BY THE ROTATING CARRIER

机译：旋转载体驱动的硅微机械陀螺的结构原理

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The structural principle of a novel silicon micromachined gyroscope, driven by the rotating carrier's angular velocity, is presented in this paper. The authors construct the mathematical module of the micromachined gyroscope and the dynamics parameters of the micromachined gyroscope are also analyzed and calculated. The signal detecting circuit of the micromachined gyroscope is described. The micromachined gyroscope uses capac-itive variation to sense angular velocity and such operation principle is demonstrated in the paper. Then, the signal processing circuit of the micromachined gyroscope is analyzed in detail. Finally, the finite element analysis tool — ANSYS software is used to analyze the oscillation module and frequency response of the micromachined gyroscope. The theoretical research and computer imitation have certified that the structural principle of the silicon micromachined gyroscope driven by rotating carrier's angular velocity is correct.
机译：提出了一种新型的硅微机械陀螺仪的结构原理，该陀螺仪由旋转载体的角速度驱动。作者构建了微机械陀螺仪的数学模块，并对微机械陀螺仪的动力学参数进行了分析和计算。描述了微机械陀螺仪的信号检测电路。微机械陀螺仪利用电容变化来感应角速度，并在本文中演示了这种工作原理。然后，详细分析了微机械陀螺仪的信号处理电路。最后，使用有限元分析工具ANSYS软件分析微机械陀螺仪的振荡模块和频率响应。理论研究和计算机模拟证明，由旋转载体的角速度驱动的硅微机械陀螺仪的结构原理是正确的。

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