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Evaluating and predicting lifetime in capacitive MEMS switches

机译：评估和预测电容MEMS开关的寿命

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An empirical model has been proposed which provides an excellent fit to the drift of pull-in and release voltages of a MEMS capacitive switch due to bulk dielectric charging. This model correctly fits the linear time dependence over short time spans and transitions to a logarithmic dependence over longer time spans. Using this model to fit measured data enables a quick and efficient determination of the rate of dielectric charging, as well as providing a worst-case prediction of when the switch will fail due to dielectric charging. This model has been used to explore the impact of applied voltage, temperature, and duty factor on switch lifetime.
机译：已经提出了一种经验模型，该模型为由于大介电充电而引起的MEMS电容开关的引入电压和释放电压的漂移提供了极好的拟合。该模型正确地拟合了短时间跨度上的线性时间依赖性，并过渡到了较长时间跨度上的对数依赖性。使用此模型拟合测量数据可以快速而有效地确定介电电荷的速率，并提供最坏的情况预测何时开关将因介电电荷而失效。该模型已用于探讨施加电压，温度和占空比对开关寿命的影响。

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