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外文会议
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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
召开年:
2013
召开地:
Taipei(CT)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Microassembled tunable MEMS inductor
机译:
微型可调可调MEMS电感器
作者:
Sarkar N.
;
Yan D.
;
Horne E.
;
Lu H.
;
Ellis M.
;
Lee J.B.
;
Mansour R.
;
Nallani A.
;
Skidmore G.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
inductors;
micromechanical devices;
microassembling;
solenoids;
ferromagnetic materials;
nickel alloys;
iron alloys;
copper;
cobalt alloys;
boron alloys;
silicon alloys;
manganese alloys;
microassembled MEMS inductor;
tunable MEMS inductor;
heterogeneous microassembly;
translation stage;
copper electroplated inductor;
solenoid inductor;
ferromagnetic core;
Pyrex sub-mount;
automated motion control platform;
hybrid MEMS assembly;
design library;
silicon microgrippers;
silicon sockets;
silicon handles;
nanomagnetic composite material;
self-resonant frequency;
power-off engage mechanism;
10 GHz;
300 to 20E6 KHz;
7 V;
NiFe;
Co/sub 83.2/B/sub 3.3/Si/sub 5.9/Mn/sub 7.6/;
2.
Multi-watt electric power from a microfabricated permanent-magnet generator
机译:
来自微制订永磁发电机的多瓦电力
作者:
Das S.
;
Arnold D.P.
;
Zana I.
;
Park J.W.
;
Lang J.H.
;
Allen M.G.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
permanent magnet generators;
electric power generation;
synchronous generators;
stators;
rotors;
multi watt electric power;
microfabricated permanent magnet generator;
microscale power generation system;
axial flux;
synchronous machines;
multipole surface wound stator;
PM rotor;
microfabricated winding;
interconductor gaps;
high power density;
mechanical to electrical power conversion;
transformer;
rectifier;
DC electrical power;
resistive load;
1.1 W;
2.6 W;
3.
A MEMS array for pneumatic conveyor and its control based on distributed system
机译:
基于分布式系统的气动输送机及其控制的MEMS阵列
作者:
Fukuta Y.
;
Chapuis Y.A.
;
Mita Y.
;
Fujita H.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microactuators;
pneumatic actuators;
conveyors;
distributed control;
MEMS array;
pneumatic conveyor;
distributed control system;
control mode;
tiny object manipulation;
2D array;
air-nozzle actuators;
silicon MEMS technology;
air-flow force application;
4.
'Pop-up' display wth 3-dimensional microlens structures
机译:
用三维微透镜结构显示“弹出”显示
作者:
Tohara M.
;
Iwase E.
;
Hoshino K.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microlenses;
display devices;
photoresists;
focal planes;
pop-up display;
3D microlens;
pop-up image;
plane-convex microlenses;
microlens array;
melting photoresists;
form transfer;
34.6 micron;
198 micron;
318 micron;
5.
A micromachined platform for localized index modulation in chirped fiber Bragg gratings and its application to ultrafast optical pulse shaping
机译:
啁啾光纤布拉格光栅中的局部指标调制的微机械平面及其在超快光脉冲整形中的应用
作者:
Udeshi K.
;
Gianchandani Y.B.
;
Kai-Hsiu Liao
;
Long Que
;
Galvanauskas A.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
Bragg gratings;
optical pulse shaping;
high-speed optical techniques;
refractive index;
chirp modulation;
micromachining;
micromachined platform;
localized index modulation;
chirped fiber Brag gratings;
ultrafast optical pulse shaping;
refractive index;
electrothermal actuators;
micromachined array;
time-domain pulse shaping;
frequency-domain pulse shaping;
60 micron;
1 mm;
5 mm;
500 mW;
1550 nm;
4 ps;
1.5 ps;
6.
Design and fabrication of miniaturized six-degree of freedom piezoresistive accelerometer
机译:
小型化六自由压阻式加速度计的设计和制造
作者:
Amarasinghe R.
;
Dao D.V.
;
Toriyama T.
;
Sugiyama S.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
accelerometers;
piezoresistive devices;
micromachining;
microsensors;
finite element analysis;
miniaturized six-degree of freedom piezoresistive accelerometer;
bulk micromachining technology;
linear acceleration;
angular acceleration;
orthogonal axes;
cross-axis sensitivity;
finite element simulation;
300 Hz;
7.
The resonating star gyroscope
机译:
共振星陀螺
作者:
Zaman M.F.
;
Sharma A.
;
Amini B.V.
;
Ayazi F.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
gyroscopes;
microsensors;
Q-factor;
resonating star gyroscope;
vibratory shell-type structure;
rate sensing;
in-plane degenerate flexural modes;
z-axis rotation sensing;
high aspect ratio polysilicon implementation;
open-loop rate sensitivity;
Brownian noise floor;
quality factor;
drive amplitude;
single crystal silicon design;
matched-mode operation;
8.
Binding force measurement between micro-scale flat surfaces in aqueous environment by force-sensing piezoresistive micro-cantilevers
机译:
通过力传感压阻式微悬臂器通过力传感压阻式微悬臂在水环境中微尺平面的结合力测量
作者:
Onoe H.
;
Gel M.
;
Hoshino K.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
microsensors;
force sensors;
force measurement;
self-assembly;
piezoresistive devices;
van der Waals forces;
binding force measurement;
microscale flat surfaces;
aqueous environment;
force-sensing piezoresistive micro-cantilevers;
fluidic micro-self-assembly;
cylindrical microparticle;
nano-newton order;
van der Waals interaction;
colloid particles;
SiO/sub 2/;
9.
3D microstructures fabrication of paraffin or plastics with laser heating
机译:
三维微观结构制造石蜡或塑料的激光加热
作者:
Tsukada N.
;
Nakao T.
;
Higuchi T.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
laser materials processing;
laser beam machining;
heating;
plastics;
3D microstructure fabrication;
paraffin;
thermoplastic materials;
laser heating;
high aspect ratio;
laser irradiation;
oblique pillars;
polyethylene;
10.
A two-level prediction model for deep reactive ion etch (DRIE)
机译:
深度反应离子蚀刻(Drie)的两级预测模型
作者:
Sun H.
;
Hill T.
;
Taylor H.
;
Schmidt M.
;
Boning D.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
sputter etching;
micromechanical devices;
two level prediction model;
deep reactive ion etch;
quantitative model;
systematic model;
MEMS devices;
etch nonuniformity;
ion neutral synergism model;
layout pattern density;
wafer level variation;
rms error;
die level model;
etch rate variation;
arbitrary wafer loading;
11.
FISH CHIPS: SINGLE CHIP SILICON MEMS CTDL SALINITY, TEMPERATURE, PRESSURE AND LIGHT SENSOR FOR USE IN FISHERIES RESEARCH
机译:
鱼类和芯片:单片机硅MEMS CTDL盐度,温度,压力和光传感器用于渔业研究
作者:
A. Hyldgard
;
O. Hansen
;
E. V. Thomsen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
12.
Film bulk acoustic resonator at 4.4 GHz with ultra low temperature coefficient of resonant frequency
机译:
薄膜散装声谐振器4.4 GHz,具有超低温度谐振频率系数
作者:
Hongyu Yu
;
Wei Pang
;
Hao Zhang
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
acoustic resonators;
micromechanical resonators;
aluminium;
zinc compounds;
silicon compounds;
xenon compounds;
film bulk acoustic resonator;
ultra low temperature coefficient;
resonant frequency;
surface micromachined cantilever;
vapor etching;
residual stress;
material temperature parameters;
4.4 GHz;
85 to 110 C;
Al-ZnO-Al-SiO/sub 2/;
13.
Adjustable-force soft-landing contact lithography for precision patterning of biomolecules
机译:
可调节力软着陆触点光刻,用于生物分子的精密图案
作者:
Salim A.
;
Humad S.
;
Ayazi F.
;
Ziaie B.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
biomolecular electronics;
soft lithography;
proteins;
micromechanical resonators;
fluorescence;
adjustable force soft-landing contact lithography;
biomolecule precision patterning;
biomolecule stamp;
fragile surface;
fluorescent antibodies;
Alexa 568 antigoat IgG;
HF silicon microresonator;
vibrating body;
protein functionality;
printed antibodies;
protein binding;
fluorescent conjugated antigen;
488 labeled goat anti-mouse IgG;
40 micron;
Si;
14.
NANO CONTACT FORMATION IN A SIMPLE MEMS DEVICE FOR THE CONDUCTANCE MEASUREMENTS OF NANO OBJECTS
机译:
纳米接触形成在简单的MEMS装置中,用于纳米物体的电导测量
作者:
M. Gel
;
S. Ishida
;
S. Iwamoto
;
Y. Arakawa
;
H. Fujita
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
15.
Extraction of Compensated σ{sub}(xx) - σ{sub}(yy) and σ{sub}(xy) Stresses from a Single Four-Contact Sensor using the Spinning Transverse Voltage Method
机译:
用纺丝横向电压法从单个四触点传感器提取补偿Σ{sub}(xx) - Σ{sub}(yy)和σ{sub}(xy)应力
作者:
J. Bartholomeyczik
;
S. Kibbel
;
P. Ruther
;
O. Paul
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
16.
Bi-directional micro relays with liquid-metal wetted contacts
机译:
双向微型继电器,具有液态金属湿润触点
作者:
Cao A.
;
Yuen P.
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microrelays;
electromagnetic actuators;
microactuators;
contact resistance;
nickel;
gold;
gallium alloys;
bi-directional micro relays;
liquid-metal wetted contacts;
micromachined relays;
bidirectional electrothermal electromagnetic actuators;
MetalMUMPs process;
6-mask foundry process;
nickel structural layer;
breakdown voltage;
off-state resistance;
contact resistance;
gold-to-gold contacts;
liquid gallium alloy;
single pole double throw function;
0.5 A;
0.015 ohm;
20 micron;
-20 C;
0.25 V;
Ni;
Au;
Ga;
17.
QN-CHIP TEMPERATURE GRADIENT LIQUID CHROMATOGRAPHY
机译:
QN芯片温度梯度液相色谱
作者:
C. Y. Shih
;
Y. Chen
;
J. Xie
;
Q. He
;
Y. C. Tai
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
18.
Deterministic lateral displacement MEMS device for continuous blood cell separation
机译:
确定性横向位移MEMS装置,用于连续血细胞分离
作者:
Siyang Zheng
;
Yung R.
;
Yu-Chong Tai
;
Kasdan H.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
micromechanical devices;
biological techniques;
blood;
deterministic lateral displacement MEMS device;
continuous blood cell separation;
leukocytes;
white blood cells;
erythrocytes;
red blood cells;
laminar flow;
PDMS channels;
blood cell stiction;
19.
Low-power thermal isolation for environmentally resistant microinstruments
机译:
对环境耐微型模板的低功耗热隔离
作者:
Sang-Hyun Lee
;
Junseok Chae
;
Sangwon Yoon
;
Navid Yazdi
;
Khalil Najafi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
isolation technology;
temperature control;
beams (structures);
micromechanical devices;
thermal stability;
environmentally resistant microinstruments;
thermal isolation platform;
MEMS devices;
oven controlled constant temperature operation;
mechanical support;
thermal characteristics;
mechanical characteristics;
beams shape;
beam materials;
beam structure;
mechanical stiffness;
wafer level instrument transfer;
wafer level assembly;
wafer bonding;
50 to 70 C;
20.
A novel MEMS device for high resolution force and displacement measurement
机译:
一种用于高分辨率力和位移测量的新型MEMS装置
作者:
Samuel B.A.
;
Desai A.V.
;
Haque M.A.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
force measurement;
displacement measurement;
micromechanical devices;
scanning electron microscopy;
transmission electron microscopy;
scanning tunnelling microscopy;
MEMS device;
force measurement;
displacement measurement;
quantitative measurement;
qualitative measurements;
SEM;
TEM;
STM;
force-displacement sensors;
displacement amplification;
structural stiffness;
slender silicon beams;
pico-Newton force;
nanometer displacement resolution;
optical microscopes;
carbon nanotube-polymer interfaces;
nanoscale thin films;
mechanical testing;
single biological cells;
21.
Monolithic integrated optical detection for microfluidic systems using thin film photodiodes based on amorphous silicon
机译:
基于非晶硅的薄膜光电二极管的微流体系统单片集成光学检测
作者:
Schaefer H.
;
Seibel K.
;
Walder M.
;
Schoeler L.
;
Pletzer T.
;
Waidelich M.
;
Ihmels H.
;
Ehrhardt D.
;
Boehm M.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
system-on-chip;
microfluidics;
thin film devices;
electroluminescent devices;
amorphous semiconductors;
elemental semiconductors;
optical sensors;
chemical sensors;
integrated optoelectronics;
hydrodynamics;
silicon;
monolithic integrated optical detection;
microfluidic system;
thin film photodiode;
amorphous silicon;
micrototal analysis system fabrication;
/spl mu/TAS;
micropatterning;
sealing;
manufacturability;
microstructures;
monolithic instrument;
fluidic network;
electrical sensor;
optical sensor;
microelectronic circuits;
interconnection;
application specific lab-on-microchip;
microflow cytometer;
a-Si:H pin diode;
optoelectronic detection;
organic fluorescence sensor;
anthracene derivatives;
hydrodynamics;
Si;
22.
Microfabricated finger-QCM array for ultrahigh sensitive gravimetry
机译:
用于超高敏感重物的微制定的手指QCM阵列
作者:
Li Li
;
Abe T.
;
Esashi M.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
density measurement;
microbalances;
quartz;
sputter etching;
small electric machines;
Q-factor;
finger-QCM array;
ultrahigh sensitive gravimetry;
quartz crystal microbalance array;
smooth surface;
deep-reactive-ion etching;
stencil mask;
inverted-mesa QCM;
52.1 MHz;
41.7 MHz;
1 mm;
0.5 mm;
23.
Single crystal silicon cantilever-based RF-MEMS switches using surface processing on SOI
机译:
基于单晶硅悬臂的RF-MEMS在SOI上使用表面处理开关
作者:
Nakatani T.
;
Nguyen A.T.
;
Shimanouchi T.
;
Imai M.
;
Ueda S.
;
Sawaki I.
;
Satoh K.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microswitches;
silicon-on-insulator;
substrates;
microwave switches;
single crystal silicon cantilever;
RF-MEMS switches;
surface processing;
SOI;
fabrication process;
electroplated bridge electrodes;
silicon-on-insulator substrates;
SP4T switch;
-0.1 dB;
5 GHz;
24.
Resonant drive: sense and high voltage electrostatic drive using single MEMS capacitor and low voltage electronics
机译:
谐振驱动器:使用单个MEMS电容和低压电子器件的感测和高压静电驱动
作者:
Cagdaser B.
;
Boser B.E.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
micromechanical devices;
capacitors;
inductors;
Q-factor;
low-power electronics;
high voltage electrostatic drive;
MEMS capacitor;
low voltage electronics;
resonant drive;
high voltage integrated circuits;
MEMS drive electronics;
position sensing;
single drive capacitor;
series LC tank;
quality factor;
tank circuit;
external inductor;
frequency shift;
resonance frequency;
100 V;
10 V;
25.
Liquid lens technology: principle of electrowetting based lenses and applications to imaging
机译:
液体透镜技术:基于电润湿的镜片和应用的原理
作者:
Berge B.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
lenses;
wetting;
liquid lens technology;
electrowetting based lenses;
imaging applications;
complex optical systems;
non miscible liquids;
liquid-liquid interface;
insulating material;
26.
Ultra low leak detection method for MEMS devices
机译:
MEMS器件的超低泄漏检测方法
作者:
Gueissaz F.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
leak detection;
micromechanical devices;
high-speed techniques;
corrosion testing;
measurement by laser beam;
ultra low leak detection;
MEMS devices;
miniature MEMS packages;
extremely fine leaks;
gross leaks;
cumulative chemical reaction;
thin copper layer oxidation;
oxidation level;
optical transmission measurements;
infrared region;
hermeticity;
Cu;
O/sub 2/;
27.
In-situ microfabrication of permeation membrane with photo-crosslinkable resin for isolation and culture of individual cells
机译:
用光交联树脂原位微制造渗透膜,用于分离和培养个体细胞
作者:
Arai F.
;
Ichikawa A.
;
Maruyama H.
;
Uchida T.
;
Maeda K.
;
Yamauchi R.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
biomembranes;
resins;
cellular biophysics;
microorganisms;
chemical reactions;
laser beam applications;
in-situ microfabrication;
permeation membrane;
photo-crosslinkable resin;
cell isolation;
cell culture;
microorganisms;
cage fabrication;
curing;
focused UV irradiation;
laser micromanipulation;
local thermal gelation;
chemical reaction;
growth media;
yeast cells;
28.
A tunable microlens scanner with large-vertical-displacement actuation
机译:
可调谐微透镜扫描仪,具有大垂直位移驱动
作者:
Jain A.
;
Huikai Xie
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microlenses;
optical scanners;
optical fabrication;
optical tuning;
tunable microlens scanner;
large-vertical-displacement actuation;
actuation voltages;
photoresist reflow;
LVD microactuator;
DRIE CMOS-MEMS process;
10 V;
29.
Self-assembly of MEMS components in air assisted by diaphragm agitation
机译:
MEMS组件在空气中的自组装通过隔膜搅拌辅助
作者:
Sheng-Hsiung Liang
;
Wang K.
;
Bohringer K.F.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
self-assembly;
micromechanical devices;
diaphragms;
substrates;
self assembly process;
MEMS chips;
diaphragm agitation;
submillimeter components;
binding sites;
air-liquid interface;
fast recycling components;
energy transfer;
yield ratio;
self correcting process;
comb drives;
30.
A lateral, self-cleaning, direct contact MEMS switch
机译:
横向,自清洁,直接接触MEMS开关
作者:
Yong Shi
;
Sang-Gook Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microswitches;
contact resistance;
piezoelectric actuators;
lateral MEMS switch;
self-cleaning MEMS switch;
direct contact MEMS switch;
compliant lateral metal contacts;
contact resistance;
life cycles;
contact surfaces;
mechanical anchoring;
Su-8 switch;
thin film PZT actuating technology;
31.
Real-time monitoring of a dielectrophoresis based selective filter using microchip flow cytometry with integrated polymer waveguides
机译:
使用微芯片流式细胞术与集成聚合物波导的基于电泳基的选择性滤波的实时监测
作者:
Wang Z.
;
Petersen P.K.
;
Rogeberg A.
;
Kutter J.P.
;
Bang D.D.
;
Wolff A.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
flow measurement;
cellular biophysics;
electrophoresis;
dielectric waveguides;
biological techniques;
real-time monitoring;
dielectrophoresis;
microchip flow cytometry;
integrated polymer waveguides;
microfluidic systems;
DEP selective filter;
cell sorting processes;
microfluidic channel;
sheath flow;
flow cytometer detection;
forward scattered light;
cell counting rates;
collection efficiency;
nonviable yeast cells;
32.
A high-performance surface-micromachined Pirani gauge in SUMMIT V/spl trade/
机译:
峰会V / SPL贸易中的高性能表面微机械Pirani仪表/
作者:
Stark B.H.
;
Junseok Chae
;
Kuo A.
;
Oliver A.
;
Khalil Najafi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
vacuum gauges;
vacuum measurement;
leak detection;
micromachining;
surface micromachined Pirani gauge;
SUMMIT V;
micro packages;
absolute pressure measurement;
double heat sink design;
pressure sensitivity;
foundry process;
He leak testing;
33.
A PASSIVE MICRO GAS REGULATOR FOR HYDROGEN FLOW CONTROL
机译:
用于氢气控制的无源微气调节器
作者:
A. Debray
;
T. Nakakubo
;
K. Ueda
;
S. Mogi
;
M. Shibata
;
H. Fujita
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
34.
Parametrically amplified resonant sensor with pseudo-cooling effect
机译:
具有伪冷却效果的参数放大谐振传感器
作者:
Wakamatsu H.
;
Ono T.
;
Esashi M.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
infrared detectors;
microsensors;
micromechanical resonators;
electrodes;
heat conduction;
radiation effects;
vibrations;
parametric devices;
noise;
parametrically amplified resonant sensor;
pseudo-cooling effect;
resonating infrared sensor;
thermal noise deamplification;
mechanical parametric amplification;
single-crystalline silicon resonator;
IR absorber;
resonant frequency;
heat conduction;
thermal stress;
IR radiation;
electrostatic vibration;
electrostatically exciting parametric amplification;
frequency fluctuation;
mechanical vibration;
noise squeezing;
noise equivalent power;
normalized detectivity;
thermal resonant IR sensors;
parametric resonance;
35.
Optical beam guidance in monolithic polymer chips for miniaturized colorimetric assays
机译:
微型化学性测定的单片聚合物芯片中的光束引导
作者:
Grumann M.
;
Moser I.
;
Steigert J.
;
Riegger L.
;
Geipel A.
;
Kohn C.
;
Urban G.
;
Zengerle R.
;
Ducree J.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
integrated optics;
optical polymers;
colorimetry;
light reflection;
substrates;
optical beam guidance;
monolithic polymer chips;
miniaturized colorimetric assays;
flat lab-on-a-chip devices;
optical guidance;
probe beam;
measurement chamber;
total internal reflection;
V-grooves;
polymer chip;
optical path length;
direct beam incidence;
chip-based colorimetric glucose-assay;
36.
Fabrication and preliminary test results of BICEP (Background Imaging of Cosmic Extragalactic Polarization) bolometer
机译:
BICEP的制造和初步测试结果(宇宙刷新极化的背景成像)辐射线计
作者:
Bae S.Y.
;
Ki-won Yoon
;
George T.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
bolometers;
microsensors;
temperature measurement;
cosmic background radiation;
BICEP bolometer;
Background Imaging of Cosmic Extragalactic Polarization;
MEMS bolometer;
temperature gradients;
cosmic microwave background;
spider web architecture;
suspended metallized silicon nitride film;
spider web bolometer;
incident microwave radiation;
voltage response;
time constant;
incident microwave polarizations;
SiN;
37.
A 1.14 GHZ PIEZOELECTRICALLY TRANSDUCED DISK RESONATOR
机译:
1.14 GHz压电转导的盘谐振器
作者:
Le Yan
;
Jian Wu
;
William C. Tang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
38.
Unsteady in-plane vortex motion in a microchannel liquid flow
机译:
微通道液体流动不稳定的面内涡旋运动
作者:
Lap Man Lee
;
Winky Lap Wing Hau
;
Yi-Kuen Lee
;
Man Wong
;
Zohar Y.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
fluid oscillations;
electrohydrodynamics;
computational fluid dynamics;
vortices;
in-plane vortex motion;
microchannel liquid flow;
unsteady flow;
mixing efficiency;
uniform electroosmotic flow;
oscillating electric field;
driving frequency;
microparticles;
nonuniform flows;
computational fluid dynamics;
liquid vortex motion;
sudden electric field reversal;
momentum transfer;
electrokinetically-driven unsteady liquid flow;
39.
Complete gradient-LC-ESI system on a chip for protein analysis
机译:
在芯片上完整的梯度-LC-ESI系统进行蛋白质分析
作者:
Xie J.
;
Shih J.
;
Miao Y.
;
Lee T.D.
;
Tai Y.C.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
mass spectroscopic chemical analysis;
proteins;
system-on-chip;
chromatography;
electron impact ionisation;
micropumps;
microfluidics;
gradient-LC-ESI system on chip;
protein analysis;
integrated gradient-elution liquid chromatography-electrospray ionization;
high-pressure gradient pump;
sample injection pump;
passive mixer;
packed separation column;
ESI nozzle;
on-chip separation;
protein digests;
reverse phase-LC;
online mass spectrometer analysis;
40.
Generic leak-free drug storage and delivery for microneedle-based systems
机译:
基于微针的系统的通用无泄漏药物存储和交付
作者:
Roxhed N.
;
Griss P.
;
Stemme G.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
drug delivery systems;
micromachining;
electrochemical machining;
packaging;
leak-free drug storage;
microneedles;
generic liquid packaging method;
micromachined drug delivery systems;
gold membrane seal;
evaporation barrier;
microneedle chip;
electrochemical dissolution;
skin tissue;
electrolyte;
interstitial fluid;
41.
Nonlinear elastic coupling in tether-suspended MEMS
机译:
在系绳悬浮的MEMS中的非线性弹性耦合
作者:
Davis W.O.
;
Pisano A.P.
;
OReilly O.M.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
micromechanical devices;
finite element analysis;
couplings;
nonlinear elastic coupling;
stiffness coefficients;
MEMS suspensions;
vibratory gyroscopes;
device asymmetries;
quadrature error motion;
cubic nonlinearity;
finite element analysis;
tether-suspended MEMS;
42.
A droplet-based lab-on-a-chip for colorimetric detection of nitroaromatic explosives
机译:
基于液滴的实验室芯片,用于比色探测硝基芳族炸药
作者:
Pamula V.K.
;
Srinivasan V.
;
Chakrapani H.
;
Fair R.B.
;
Toone E.J.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
biosensors;
wetting;
explosions;
colorimetry;
spectrophotometry;
spectrochemical analysis;
nitrogen compounds;
potassium compounds;
drops;
droplet-based lab-on-a-chip;
colorimetric detection;
nitroaromatic explosives;
automated field screening equipment;
droplet-based microfluidics;
electrowetting;
TNT;
trinitrotoluene;
nitroaromatics;
Jackson-Meisenheimer complex;
microliter-sized droplets;
potassium hydroxide;
microfluidic chip;
colorimetric reactions;
spectrophotometer;
dinitrotoluene;
43.
Generating electric power with a MEMS electroquasistatic induction turbine-generator
机译:
用MEMS电Quasistatic诱导涡轮发电机发电电力
作者:
Steyn J.L.
;
Kendig S.H.
;
Khanna R.
;
Lyszczarz T.M.
;
Umans S.D.
;
Yoon J.U.
;
Livermore C.
;
Lang J.H.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
electric power generation;
turbogenerators;
asynchronous generators;
micromechanical devices;
stators;
rotors;
electric power generation;
MEMS electroquasistatic induction turbine-generator;
EQS induction machine;
self-excited operation;
external drive electronics;
silicon layers;
stator;
platinum electrode structure;
recessed oxide island;
rotor;
thin film;
lightly doped polysilicon;
state-space model;
192 muW;
700 C;
44.
Microfluidic detection and analysis by integration of evanescent wave sensing with thermocapillary actuation
机译:
渐致波感测热量驱动的微流体检测与分析
作者:
Valentino J.P.
;
Troian S.M.
;
Wagner S.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
biosensors;
microfluidics;
microactuators;
micromanipulators;
fibre optic sensors;
drops;
optical waveguides;
biological techniques;
microfluidic detection;
microfluidic analysis;
evanescent wave sensing;
thermocapillary actuation;
microfluidic actuation;
thermocapillary manipulation;
liquid droplets;
beam path;
planar thin film waveguide;
microheater array;
droplet location;
dye concentration;
reaction kinetics;
enzymatic hydrolysis;
sugar X-galactose;
beta-galactosidase;
45.
PIEZOELECTRIC BIMORPH TRANSDUCERS BASED ON SINGLE CRYSTAL AL{sub}0.3GA{sub}0.7As FILMS
机译:
基于单晶Al {Sub} 0.3ga {sub} 0.7as薄膜的压电双晶圆传感器
作者:
L. Li
;
P. Kumar
;
L. Calhoun
;
D. L. DeVoe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
46.
A miniaturized fluorescence detection system with an integrated organic light emitting diode
机译:
具有集成有机发光二极管的小型化荧光检测系统
作者:
Kim J.H.
;
Kim Y.H.
;
Shin K.S.
;
Kim B.K.
;
Kim Y.M.
;
Lee Y.H.
;
Moon S.L.
;
Kim T.S.
;
Kang J.Y.
;
Yang E.G.
;
Kim S.S.
;
Ju B.K.
;
Park J.O.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
integrated optoelectronics;
organic light emitting diodes;
fluorescence;
p-i-n diodes;
photodiodes;
miniaturized fluorescence detection system;
integrated organic light emitting diode;
microchip source;
thin-film structure;
finger-type PIN photodiodes;
diode design;
leakage current;
light sensitivity;
interference filter;
excitation efficiency;
monolithic integrated microchip;
SiO/sub 2/;
TiO/sub 2/;
47.
Development of an SU-8 Fabry-Perot blood pressure sensor
机译:
开发SU-8法布里 - 珀罗血压传感器
作者:
Melamud R.
;
Davenport A.A.
;
Hill G.C.
;
Chan I.H.
;
Declercq F.
;
Hartwell P.G.
;
Pruitt B.L.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2005年
关键词:
biosensors;
pressure sensors;
blood pressure measurement;
Fabry-Perot interferometers;
microsensors;
SU-8 Fabry-Perot blood pressure sensor;
interferometric pressure sensor;
intravascular blood pressure measurement;
pressure-sensing diaphragm;
fiber optic cable;
diaphragm deflection;
biocompatible polymer;
thrombosis;
optical displacement transducer;
hysteresis;
0 to 125 mmHg;
48.
Zero-Power Latching, Large-Stroke, High-Precision Linear Microactuator for Lightweight Structures in Space
机译:
零功率锁定,大冲程,高精度线性微致动器,用于空间的轻质结构
作者:
R. Toda
;
Eui-Hyeok Yang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
49.
Microfabrication of Helmholtz Coils with Integrated Channels for NMR Spectroscopy
机译:
具有用于NMR光谱的集成通道的Helmholtz线圈的微型制作
作者:
K. Ehrmann
;
N. Saillen
;
F. Vincent
;
C. Massin
;
P.-A. Besse
;
R.S. Popovic
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
50.
Pneumatic Particle Manipulator with Vibrator Matrix
机译:
带振动器基质的气动粒子操纵器
作者:
Ok Chan Jeong
;
S. Konishi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
51.
Self-Magnetic Excitation for In-Plane Mode Resonant Microsensor
机译:
面内模式共振微传感器的自磁激励
作者:
Jae Hyeong Seo
;
Brand O.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
52.
Direct Handwriting Manipulation of Droplets by Self-Aligned Mirror-Ewod Across a Dielectric Sheet
机译:
通过在介电片上通过自对准镜 - EWOD直接手写液滴操纵液滴
作者:
Kai-Cheng Chuang
;
Shih-Kang Fan
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
53.
Design and Experiment of 3-Dimensional Micro-Optical System for MEMS Tunable Lasers
机译:
用于MEMS可调激光器三维微光学系统的设计与实验
作者:
X.M. Zhang
;
H. Cai
;
C. Lu
;
C.K. Chen
;
A.Q. Liu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
54.
Shock Protection Using Integrated Nonlinear Spring Shock Stops
机译:
使用集成的非线性弹簧冲击停止防震保护
作者:
S.W. Yoon
;
N. Yazdi
;
J. Chae
;
N.C. Perkins
;
K. Najafi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
55.
A 3D Biological Filtration Matrix Using Self-Assembled Microspheres Inside microchannels and Gelatin Sacrificial Layer
机译:
使用微通道和明胶牺牲层内使用自组装微球的3D生物过滤矩阵
作者:
T.-S. Chen
;
C.-P. Chen
;
Y.-C. Tsai
;
W.-P. Shih
;
W.-C. Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
56.
Fabrication of the Flexible Sensor Using SOI Wafer by Removing the Thick Silicon Layer
机译:
通过去除厚的硅层,使用SOI晶片制造柔性传感器
作者:
Noda K.
;
Hoshino K.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
57.
Micro/Nano Pattern Fabrication Using Ultrafast Laser Surface Modification and Self-Assembled Monolayers
机译:
微/纳米图案制造使用超快激光表面改性和自组装单层
作者:
Chang W.S.
;
Huh K.S.
;
Cho S.H.
;
Kim J.G.
;
Whang K.H.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
58.
High-Rate Sputtering of Thick PZT Layers for MEMS Actuators
机译:
MEMS执行器的厚PZT层的高速溅射
作者:
H. Jacobsen
;
H.-J. Quenzer
;
B. Wagner
;
K. Ortner
;
Th. Jung
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
59.
Disk-Array Design for Suppression of Unwanted Modes in Micromechanical Composite-Array Filters
机译:
用于抑制微机械复合阵列滤波器中不需要的模式的磁盘阵列设计
作者:
Sheng-Shian Li
;
Yu-Wei Lin
;
Zeying Ren
;
C.T.-C. Nguyen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
60.
Micro Pressure Sensors of 50amp;#956;M Size Fabricated by a Standard CMOS Foundry and a Novel Post Process
机译:
50μ M尺寸的微压传感器由标准CMOS铸造和新的邮政过程制作
作者:
Hsin-Hsiung Wang
;
Chun-Wei Hsu
;
Wei-Hao Liao
;
Lung-Jieh Yang
;
Ching-Liang Dai
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
61.
The Patterning of Electric Circuits by Mask-Deposition Technology
机译:
掩模沉积技术通过电路的图案化
作者:
Yotsuya S.
;
Makigaki T.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
62.
A Centrifugo-Magnetically Actuated Gas Micropump
机译:
一条离心磁驱动的气体微泵
作者:
Haeberle S.
;
Schmitt N.
;
Zengerle R.
;
Ducree J.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
63.
Muscle Proteins as High Speed Nano Transporters on Micro Patterns
机译:
肌肉蛋白质作为高速纳米转运蛋白微观图案
作者:
Yoshida Y.
;
Shimozawa T.
;
Nishizaka T.
;
Ishiwata S.
;
Takeuchi S.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
64.
A New Three-Dimensional Lithography Using Polymer Dispersed Liquid Crystal (PDLC) Films
机译:
一种新的三维光刻,使用聚合物分散液晶(PDLC)薄膜
作者:
Jin-Wan Jeon
;
Joon-Yong Choi
;
Jun-Bo Yoon
;
Koeng Su Lim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
65.
Capacitive Absolute Pressure Sensor with Vacuum Cavity Formed by Bonding Silicon to Soiwafer for Upper Air Observations
机译:
电容绝对压力传感器具有通过将硅粘合到SOIWAFE的真空腔,用于上空气观察
作者:
K.R. Lee
;
K. Kim
;
Y.K. Kim
;
H.D. Park
;
S.W. Choi
;
W.B. Choi
;
B.K. Ju
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
66.
A Universal Parameter for Silicon Anisotropic Etching Inalkaline Solutions
机译:
硅各向异性蚀刻含有含量溶液的通用参数
作者:
Cheng D.
;
Gosalvez M.A.
;
Shikida M.
;
Sato K.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
67.
A Handheld Microdischarge Spectroscopy System for High-Speed Chemical Analysis of Gaseous and Liquid Samples
机译:
一种手持式微探剂光谱法,用于气态和液体样品的高速化学分析
作者:
Mitra B.
;
Levey B.
;
Tze-Ching Fung
;
Gianchandani Y.B.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
68.
A Polymer-Based Flexible Tactile Sensor for Normal and Shear Load Detection
机译:
用于正常和剪切载荷检测的基于聚合物的柔性触觉传感器
作者:
Eun-Soo Hwang
;
Jeong-Hoon Seo
;
Yong-Jun Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
69.
3D Lithography and Deposition on Highly Structured Surfaces Using Plasma Surface Modification, SAM Coating, and Contact Displacement Electroless Plating
机译:
使用等离子体表面改性,SAM涂层和接触位移化学镀层高度结构化表面上的光刻和沉积
作者:
Wang-Shen Su
;
Sheng-Ta Lee
;
Ming-Shih Tsai
;
Weileun Fang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
70.
A New Microfluidic Chip for Formation of Micro-Droplets in Liquids Utilizing Active Pneumatic Choppers
机译:
一种新的微流体芯片,用于利用活性气动切割物在液体中形成微液滴
作者:
Cheng-Tso Chen
;
Gwo-Bin Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
关键词:
choppers;
emulsification;
hydrodynamic flow focusing;
microfluidics;
choppers;
emulsification;
hydrodynamic flow focusing;
microfluidics;
71.
Optimal Design of Micro Rayleigh-Benard Convection Polymerase Chain Reaction System
机译:
微型瑞利百合对流聚合酶链反应系统的最佳设计
作者:
Da-Jeng Yao
;
Jhao-Rong Chen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
72.
Reconstituted Wafer Technology for Heterogeneous Integration
机译:
重构的晶圆技术,用于异构集成
作者:
E.P. Quevy
;
R.T. Howe
;
Tsu-Jae King
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
73.
Optical Sensing Inadirectional Memsmicrophone Inspired by the Ears of the Parasitoid Fly, Ormia Ochracea
机译:
光学传感的反映Memsmicrophone灵感来自寄生虫飞行的耳朵,Ormia Ochracea
作者:
Weili Cui
;
B. Bicen
;
N. Hall
;
S.A. Jones
;
F.L. Degertekin
;
R.N. Miles
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
74.
LIPID BILAYER MICROCHAMBERS: AN OPTICAL DETECTION SYSTEM FOR MEMBRANE TRANSPORT
机译:
脂质双层微型机械:用于膜输送的光学检测系统
作者:
Hiroaki Suzuki
;
Kazuhito V. Tabata
;
Hiroyuki Noji
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
75.
Nanotechnology: An Overview and Integration with MEMS
机译:
纳米技术:与MEMS的概述和集成
作者:
Meyyappan M.
;
Jing Li
;
Jun Li
;
Cassell A.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
76.
Optimal Design of Micro Rayleigh-Benard Convection Polymerase Chain Reaction System
机译:
微型瑞利百合对流聚合酶链反应系统的最佳设计
作者:
Da-Jeng Yao
;
Jhao-Rong Chen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
77.
Fabrication and Characterization of an Electrostatic Contraction Beams Micromotor
机译:
静电收缩梁微量运动的制造与表征
作者:
E. Sarajlic
;
E. Berenschot
;
N. Tas
;
H. Fujita
;
G. Krijnen
;
M. Elwenspoek
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
78.
DNA Self-Focusing Chips Using Nonuniformly Distributed Asymmetric Electric Fields
机译:
使用非均匀分布的不对称电场的DNA自聚焦芯片
作者:
Soyeon Yi
;
Young-Ho Cho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
79.
Electro-Osmotic Flow Through Closed-Open-Closed Microchannels: An Approach to Hyphenation of Capillary Electrophoresis and Maldi
机译:
通过闭合封闭微通道的电渗流:毛细管电泳和MALDI的敏化方法
作者:
V. Parmar
;
T. Redeby
;
W. van der Wijngaart
;
A. Emmer
;
G. Stemme
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
80.
A Highly Sensitive CMOS-MEMS Capacitive Tactile Sensor
机译:
高度敏感的CMOS-MEMS电容触觉传感器
作者:
Cheng-Ting Ko
;
Jhy-Ping Wu
;
Wen-Chih Wang
;
Ching-Hsiao Huang
;
Sheng-Hsiang Tseng
;
Yung-Lin Chen
;
M.S.-C. Lu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
81.
Dual-Axis Electromagnetic Scanning Micromirror Using Radial Magnetic Field
机译:
双轴电磁扫描微镜使用径向磁场
作者:
Chang-Hyeon Ji
;
Si-Hong Ahn
;
Ki-Chang Song
;
Hyoung-Kil Yoon
;
Moongoo Choi
;
Sang-Cheon Kim
;
Jong-Uk Bu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
82.
Novel Photolithography to Perform the Oblique Microstructure
机译:
新型光刻法执行倾斜微观结构
作者:
Tsai H.-C.
;
Chang Y.-R.
;
Chen H.-K.
;
Shing T.-K.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
83.
Bulk Titanium Microneedles with Embedded Microfluidic Networks for Transdermal Drug Delivery
机译:
批量钛微针与嵌入式微流体网络用于透皮药物递送
作者:
Parker E.R.
;
Rao M.P.
;
Turner K.L.
;
MacDonald N.C.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
84.
A New Three-Dimensional Lithography Using Polymer Dispersed Liquid Crystal (PDLC) Films
机译:
一种新的三维光刻,使用聚合物分散液晶(PDLC)薄膜
作者:
Jin-Wan Jeon
;
Joon-Yong Choi
;
Jun-Bo Yoon
;
Koeng Su Lim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
85.
Modular MEMS Experimental Platform for Transmission Electron Microscopy
机译:
用于透射电子显微镜的模块化MEMS实验平台
作者:
Sarkar N.
;
Baur C.
;
Stach E.
;
Jandric Z.
;
Stallcup R.
;
Ellis M.
;
Skidmore G.
;
Liu J.
;
Fedder G.K.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
86.
Cell Adhesions on Nanoturf Surfaces
机译:
纳米电炉表面上的细胞粘附
作者:
Chang-Hwan Choi
;
S.H. Hagvall
;
J.C.Y. Dunn
;
B.M. Wu
;
Chang-Jin Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
87.
Seismic Power Generator Using High-Performance Polymer Electret
机译:
采用高性能聚合物驻极体的地震发电机
作者:
T. Tsutsumino
;
Y. Suzuki
;
N. Kasagi
;
Y. Sakane
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
88.
Manually Re-Writable Panel for Large Area MEMS
机译:
手动重新写入大面积MEMS
作者:
Shigematsu R.
;
Higo A.
;
Toshiyoshi H.
;
Fujita H.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
89.
Needle Micro-Coils for MRS
机译:
用于MRS的针微线圈
作者:
R.R.A. Syms
;
M.M. Ahmad
;
I.R. Young
;
D. Gilderdale
;
D.J. Collins
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
90.
Pneumatically Actuated, Membrane-Based, Micro-Optical Devices
机译:
气动驱动,基于膜,微光学装置
作者:
A. Werber
;
H. Zappe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
91.
Digitally Frequency-Controllable Dual-Band WLAN Filters Using Micromachined Frequency-Tuning Elements
机译:
使用微机械频率调谐元件的数字频率可控双频WLAN滤波器
作者:
Jong-Man Kim
;
Sanghyo Lee
;
Jae-Hyoung Park
;
Jung-Mu Kim
;
Chang-Wook Baek
;
Youngwoo Kwon
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
92.
Vertical Drive Micro Actuator Using SMA Thin Film For A Smart Button
机译:
垂直驱动微型执行器使用SMA薄膜进行智能按钮
作者:
W. Yoshikawa
;
A. Sasabe
;
K. Sugano
;
T. Tsuchiya
;
O. Tabata
;
A. Ishida
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
93.
Superplastic Forming of Bulkmetallic Glass-Atechnology for MEMS and Microstructure Fabrication
机译:
用于MEMS和微观结构制造的Bulkmetallic玻璃 - 技术的超塑性成型
作者:
J. Schroers
;
T. Nguyen
;
A. Desai
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
94.
DNA Self-Focusing Chips Using Nonuniformly Distributed Asymmetric Electric Fields
机译:
使用非均匀分布的不对称电场的DNA自聚焦芯片
作者:
Soyeon Yi
;
Young-Ho Cho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
95.
Miniaturised Thermal Flow Sensors for Rough Environments
机译:
用于粗糙环境的小型化热流传感器
作者:
Buchner R.
;
Maiwald M.
;
Sosna C.
;
Schary T.
;
Benecke W.
;
Lang W.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
96.
Development of Methanol Steam Reforming System Integrated with Catalytic Combustor Using Carbon Nanotubes as Catalyst Supports
机译:
碳纳米管催化燃烧器与催化燃烧器集成的甲醇蒸汽重整系统的研制
作者:
Dae-Eun Park
;
Tae-Kyu Kim
;
Selin Kwon
;
Euisik Yoon
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2006年
97.
Field-effect control of electro-osmotic flow with synchronized AC-switching of channel and gate potentials
机译:
具有同步交流切换通道和栅极电位的电渗透流的现场效应控制
作者:
van der Wouden E.J.
;
Liang D.
;
Hermes D.C.
;
Gardeniers J.G.E.
;
van den Berg A.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2006年
98.
Fabrication of Gold Nanoparticle Using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps
机译:
脉冲混合方法用阀门微泵制造金纳米粒子
作者:
Sugano K.
;
Yamada H.
;
Ichihashi O.
;
Tsuchiya T.
;
Tabata O.
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2006年
99.
Peristaltic PDMS Pump with Perfect Dynamic Valves for Both Gas and Liquid
机译:
蠕动PDMS泵,适用于气体和液体的完美动态阀门
作者:
Ok Chan Jeong
;
T. Morimoto
;
Y. Watanabe
;
S. Konishi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2006年
100.
Nonlinear Electrophoretic Mobility of Large DNA Molecules in Microsystems with Sub-Micron Pillar Arrays
机译:
具有亚微米柱阵列微系统中大型DNA分子的非线性电泳迁移率
作者:
Yick Chuen Chan
;
Y. Zohar
;
Yi-Kuen Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2006年
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