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Electron cyclotron resonance plasma reactor for production of carbon stripper foil

机译：电子回旋共振等离子体反应器，用于生产脱碳箔

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摘要

A graphite antenna for the production of carbon-containing hydrogen plasmas is being developed to prepare impurity-free charge exchange foils for high-energy synchrotrons. Microwave power at 2.45 GHz frequency drives a coaxial structure antenna with a 12-mm-diameter central graphite cylinder and a tapered surrounding cylinder serving as the ground electrode. The antenna was placed in a linear magnetic field to investigate how it performs under an electron cyclotron resonance (ECR) condition. A clear resonance phenomenon was observed in plasma luminosity, microwave power absorption, and microwave power reflection when the induction current used to produce a linear magnetic field was changed. The antenna realized the best microwave coupling to the plasma with the ECR zone formed 5 mm from the end of the center electrode. The antenna realized stable operation for more than 5 h with 100 W input microwave power and with operating hydrogen pressure from 0.5 to 50 Pa. (c) 2018 The Japan Society of Applied Physics
机译：正在开发一种用于生产含碳氢等离子体的石墨天线，以制备用于高能同步加速器的无杂质电荷交换箔。 2.45 GHz频率的微波功率驱动同轴结构天线，该天线具有12毫米直径的中心石墨圆柱体和一个锥形的环绕圆柱体，用作接地电极。将该天线置于线性磁场中，以研究其在电子回旋共振（ECR）条件下的性能。当改变用于产生线性磁场的感应电流时，在等离子体亮度，微波功率吸收和微波功率反射中观察到明显的共振现象。天线实现了与等离子体的最佳微波耦合，其ECR区距中心电极末端5 mm。该天线在100 W输入微波功率和0.5至50 Pa的工作氢气压力下实现了超过5小时的稳定运行。（c）2018年日本应用物理学会

著录项

  • 来源
    《Japanese journal of applied physics》 |2018年第1s期|01AA04.1-01AA04.4|共4页
  • 作者

    Romero Camille Faith; Kanamori Keita; Kinsho Michikazu; Yoshimoto Masahiro; Wada Motoi;

  • 作者单位

    Doshisha Univ, Grad Sch Sci & Engn, Plasma Phys Lab, Kyoto 6100394, Japan;

    Doshisha Univ, Grad Sch Sci & Engn, Plasma Phys Lab, Kyoto 6100394, Japan;

    Japan Proton Accelerator Res Complex, Naka, Ibaraki 3191195, Japan;

    Japan Proton Accelerator Res Complex, Naka, Ibaraki 3191195, Japan;

    Doshisha Univ, Grad Sch Sci & Engn, Plasma Phys Lab, Kyoto 6100394, Japan;

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