Enhanced Sensitivity Of Wireless Chemical Sensor Based On Love Wave Mode

Wen Wang; Haekwan Oh; Keekeun Lee; Sangsik Yang

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Enhanced Sensitivity Of Wireless Chemical Sensor Based On Love Wave Mode

机译：基于Love Wave模式的无线化学传感器增强的灵敏度

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A 440 MHz wireless and passive Love-wave-based chemical sensor was developed for CO_2 detection. The developed device was composed of a reflective delay line patterned on 41° YX LiNbO_3 piezoelectric substrate, a poly(methyl methacrylate) (PMMA) waveguide layer, and Teflon AF 2400 sensitive film. A theoretical model is presented to describe wave propagation in Love wave devices with large piezoelectricity and to allow the design of an optimized structure. In wireless device testing using a network analyzer, infusion of CO_2 into the testing chamber induced large phase shifts of the reflection peaks owing to the interaction between the sensing film and the test gas (CO_2). Good linearity and repeatability were observed at CO_2 concentrations of 0-350ppm. The obtained sensitivity from the Love wave device was approximately 7.07° ppm~(-1). The gas response properties of the fabricated Love-wave sensor in terms of linearity and sensitivity were provided, and a comparison to surface acoustic wave devices was also discussed.

机译：开发了一种基于440 MHz无线和无源Love波的化学传感器，用于CO_2检测。所开发的设备由在41°YX LiNbO_3压电基板上构图的反射延迟线，聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）波导层和Teflon AF 2400敏感膜组成。提出了一个理论模型来描述具有较大压电性的Love波器件中的波传播，并允许设计优化的结构。在使用网络分析仪的无线设备测试中，由于传感膜和测试气体（CO_2）之间的相互作用，将CO_2注入测试室会引起反射峰的大相移。在0-350ppm的CO_2浓度下观察到良好的线性和可重复性。从洛夫波装置获得的灵敏度约为7.07°ppm〜（-1）。提供了线性和灵敏度方面的人造Love-wave传感器的气体响应特性，并讨论了与声表面波器件的比较。

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来源
《Japanese journal of applied physics》 |2008年第9issue1期|7372-7379|共8页
作者
Wen Wang; Haekwan Oh; Keekeun Lee; Sangsik Yang;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
co_2; love wave chemical sensor; pmma; reflective delay line; surface acoustic wave (saw); wireless;

机译：co_2;爱波化学传感器;pmma;反射延迟线;表面声波（锯）;无线;

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