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Fabrication of Roughness-Improved Polymer Waveguides by UV Imprinting Technique

机译：紫外压印技术制备粗糙度改善的聚合物波导

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Increased losses for the telecommunication wavelengths of 1.3 and 1.5 μm and detrimental residual slab waveguide generation make the thermoplastic polymer-based waveguide devices unsuitable for manufacturing optical modules. To overcome this, nearly zero slab polymer waveguides was fabricated in a thermosetting polymer using a UV imprinting technique. Through the sacrificial oxide removal of the silicon mold, the sidewall roughness of the imprinted convex waveguide decreased; consequently, propagation loss can decrease to a level as small as the material loss.
机译：电信波长为1.3和1.5μm的损耗增加以及有害的残留平板波导生成使热塑性聚合物基波导器件不适合用于制造光学模块。为了克服这个问题，使用紫外线压印技术在热固性聚合物中制造了几乎为零的平板聚合物波导。通过去除硅模具的牺牲氧化物，压印的凸形波导的侧壁粗糙度降低了；因此，传播损耗可以减小到与材料损耗一样小的水平。

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