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首页> 外文期刊>Japanese Journal of Applied Physics. Part 1, Regular Papers & Short Notes >Highly Texturized Silver Electrode Deposition Using Roll-to-Roll Low-Temperature Sputtering Process
【24h】

Highly Texturized Silver Electrode Deposition Using Roll-to-Roll Low-Temperature Sputtering Process

机译：使用卷对卷低温溅射工艺进行高度组织化的银电极沉积

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A large-scale roll-to-roll sputtering apparatus was used for depositing highly texturized Ag electrodes on heat-resistant flexible plastic film substrates for the fabrication of amorphous silicon solar cells. Selective reactive sputtering using Ag-based alloy targets enhances textured morphology formation. Oxygen reacts with Al slightly dispersed into the targets and forms oxide in the deposited electrodes, whereas the Ag matrix is not oxidized and maintains a low resistivity. The textured electrode with an excellent light scattering property enables amorphous silicon single-junction solar cells to increase short circuit current and fill factor, resulting in the improvement of conversion efficiency by approximately 10%.
机译：使用大型卷对卷溅射设备将高度结构化的Ag电极沉积在耐热柔性塑料薄膜基板上，以制造非晶硅太阳能电池。使用基于Ag的合金靶的选择性反应溅射可增强织构形态的形成。氧与略微分散在靶中的铝发生反应，并在沉积的电极中形成氧化物，而银基体未被氧化并保持低电阻率。具有优异的光散射特性的纹理化电极使非晶硅单结太阳能电池能够增加短路电流和填充因子，从而将转换效率提高了约10％。

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