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Reaction mechanism of ZrO_x metal resists with extreme ultraviolet irradiation

机译：ZrO_x金属抗紫外线的反应机理

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The reaction mechanism of ZrO-based metal resists by extreme ultraviolet (EUV) exposure was investigated using hard X-ray photoelectron spectroscopy, near edge X-ray absorption fine structure spectroscopy, and X-ray diffraction. EUV exposure did not affect the amorphous structure of the metal resist. After EUV exposure, the pi* states of the C atom and the sigma* states of the O atom of the cell molecules were reacted. Moreover, EUV exposure decomposed the carbonyl species of the cell molecules and forms the high oxidation states of ZrOx. Thus, the metal resist reaction occurred with the decomposition of cell molecules and the formation of ZrO2 by EUV exposure. (c) 2019 The Japan Society of Applied Physics
机译：使用硬X射线光电子能谱，近边缘X射线吸收精细结构光谱和X射线衍射研究了ZrO基金属抗蚀剂在极紫外（EUV）曝光下的反应机理。 EUV曝光不会影响金属抗蚀剂的非晶结构。 EUV暴露后，细胞分子的C原子的pi *状态和O原子的sigma *状态发生反应。此外，EUV暴露会分解细胞分子的羰基物质，并形成ZrOx的高氧化态。因此，发生金属抗蚀剂反应，伴随着细胞分子的分解和通过EUV曝光形成ZrO 2。 （c）2019日本应用物理学会

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