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首页> 外文期刊>Japanese journal of applied physics >Polarization errors associated with reflective objectives in a micro-spot spectroscopic ellipsometer
【24h】

Polarization errors associated with reflective objectives in a micro-spot spectroscopic ellipsometer

机译：与微点光谱椭偏仪中的反射物镜相关的偏振误差

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A micro-spot spectroscopic ellipsometer covering 1.5-4.8 eV is developed using two infinity-corrected reflective objectives. Only a small portion of the entrance pupil in the objective is used to obtain a similar to 50 mu m x 70 mu m spot on a sample. However, non-normal reflections inside the objectives cause experimental errors (up to 2.3 degrees in Delta) when they are arranged symmetrically about a sample. In this paper, we show how to diagnose the polarization errors associated with the reflective objectives and how to deal with them. (C) 2019 The Japan Society of Applied Physics
机译：使用两个无穷大校正的反射物镜开发了一种覆盖1.5-4.8 eV的微光斑椭圆偏振仪。物镜中只有一小部分入射光瞳用于在样品上获得类似于50μmx70μm的斑点。但是，物镜内部的非法向反射将实验误差（相对于样品对称排列）会导致实验误差（Delta高达2.3度）。在本文中，我们展示了如何诊断与反射物镜有关的偏振误差以及如何处理它们。 （C）2019日本应用物理学会

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