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机译:紧密耦合的喷淋头和行星反应堆中接近大气压的III型氮化物MOVPE的建模和工艺设计
AIXTRON AG, Kackertstr. 15-17, 52072 Aachen, Germany;
A1. Computer simulation; A3. Close coupled showerhead reactor; A3. Metalorganic vapor-phase epitaxy; A3. Planetary reactor; B1. Nitrides;
机译:紧密耦合的喷淋头和行星反应堆中接近大气压的III族氮化物MOVPE的建模和工艺设计
机译:封闭耦合喷头反应器和PlanetaryReactor®中的Ⅲ族氮化物MOVPE建模
机译:封闭耦合喷淋头反应器和Planetary Reactor〜®中III型氮化物MOVPE的建模
机译:300mm闭合耦合淋浴喷头反应器中硅的III-V太阳能电池的MOVPE生长
机译:高通量原子层沉积工艺:高压操作,新的反应堆设计和新颖的金属加工。
机译:MOVPE紧密耦合喷头反应器中的喷头-样品距离(GAP)对GaN生长的影响
机译:淋浴喷头 - 样本距离(间隙)在Movpe关闭耦合淋浴喷头反应器对GaN生长的影响