The Marangoni convection and the oxygen concentration in Czochralski-grown silicon

著录项

• 来源
  《Journal of Crystal Growth》 |2003年第4期|p.298-304|共7页
• 作者

  Yuesheng Xu; Caichi Liu; Haiyun Wang; Qiuyan Hao;

  展开▼
• 作者单位

  School of Materials, Hebei University of Technology, No 1 Road, Dingzigu, Hongqiao Dist., Tianjin 300130, China;

  展开▼
• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 晶体学;
• 关键词

  Al. convection; A2. magnetic field assisted czochralski method; A2. microgravity conditions; Bl. elemental solids; B2. semiconducting materials; B2. semiconducting silicon;

  机译：铝对流;A2。磁场辅助czochralski方法;A2。微重力条件;Bl。元素固体B2。半导体材料;B2。半导体硅;