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【24h】

真空中での高品質薄膜の成膜を可能にする大電流プラズマアシスト蒸着装置の開発

机译:开发高电流等离子体辅助气相沉积系统,可在真空中进行高质量的薄膜沉积

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摘要

プラズマアシスト蒸着(以下,rnPAD:Plasma Assisted Deposition)rn方式を採用した,大電流プラズマアシrnスト蒸着装置を紹介する.大電流プラrnズマアシスト蒸着装置とは,真空中でrn材料蒸気を発生させ成膜を行う真空蒸rn着装置において,とくにプラズマ活性rn雰囲気中で反応性蒸着を行うことを特rn徴とするものである.
机译:本节介绍使用等离子辅助沉积(rnPAD)rn方法的高电流等离子辅助沉积系统。高电流的Prama辅助气相沉积设备是一种真空气相沉积设备,其在真空中产生材料蒸汽以形成膜,并且其特征在于在等离子体活化的气氛中进行反应性气相沉积。是的。

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