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机译:用于微型超级电容器的溅射钛氮化钒(TiVN)薄膜的制备
机译:溅射氮化钛膜,具有精细定制的表面活性和高性能片上微型超级超级放电路的孔隙率
机译:磁控溅射氮化钛薄膜的制备与表征
机译:钒含量对反应性直流磁控共溅射制备TiVN薄膜结构和化学状态的影响
机译:颗粒能量分布对反应溅射二氧化钛和氮化钛薄膜结构和性能的影响
机译:非垂直入射反应磁控溅射制备的金属氮化物(氮化铝,氮化钛,氮化ha)薄膜的织构演变。
机译:通过磁控溅射沉积的MoOx薄膜作为水性微型超级电容器的阳极
机译:钒含量对反应性直流磁控共溅射制备TiVN薄膜结构和化学状态的影响