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Micro-Forming of PMMA for Optical Components

机译：光学元件的PMMA的微成型

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This paper describes the micro forming of polymethylmethacrylate (PMMA) to fabricate an array of micro mirror for an optical switch component. A die for micro forming is fabricated from Si master die by Ni electroforming and the subsequent KOH etching in order. Micro forming is performed by transferring the configuration of micro die to PMMA with a hot embossing system. To obtain the enough height and the required configuration of mirror, it is found that the forming and die release temperature should be 403 K, and 363 K, respectively. However, all of the fabricated mirrors incline toward the array center, and the inclination angle increases with a distance from the center. FEM analysis indicates that the inclination of the mirror is due to the difference of thermal contraction between Ni die and PMMA. Therefore the micro die must be designed in full consideration of thermal contraction to obtain a high dimensional accuracy in micro forming.
机译：本文介绍了聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）的微成型工艺，以制造用于光学开关组件的微镜阵列。用于微成形的模具是通过依次进行Ni电铸和随后的KOH蚀刻由Si母模制成的。通过使用热压花系统将微模具的配置转移到PMMA来执行微成型。为了获得足够的高度和所需的镜面配置，发现成型和脱模温度分别应为403 K和363K。然而，所有制造的反射镜都朝向阵列中心倾斜，并且倾斜角随着距中心的距离而增大。有限元分析表明，反射镜的倾斜是由于镍模和聚甲基丙烯酸甲酯之间的热收缩差异引起的。因此，必须充分考虑热收缩来设计微模具，以在微成型中获得高尺寸精度。

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