...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>トライボロジスト >分光エリプソメトリ
【24h】

分光エリプソメトリ

机译：椭圆偏振光谱

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

分光エリプソメトリは，非破壊および非接触にて薄膜材料を評価でき，単層膜だけではなく，多層膜の膜厚と光学定数を求めることができる光学計測法である．加えて，薄膜材料の表面・界面状態，組成，結晶化率，均一性，光学バンドギャップ，光学異方性などが評価できることも特長のひとつである． しかし，本手法は直接評価法ではなく，光学モデルを用いた間接評価法であるため，直感的には理解し難い．このような煩わしさを解消するためには，データ解析ソフトウェアが充実している市販装置を利用することが最適であり，このような市販薬置は，現在最先端の基礎研究からモノつくりの生産現場まで幅広い場面で利用されている．
机译：椭圆偏振光谱法是一种光学测量方法，可以评估非破坏性和非接触性薄膜材料，并且不仅可以确定单层膜的厚度，而且可以确定多层膜的光学常数。另外，特征之一是可以评估薄膜材料的表面/界面状态，组成，结晶速率，均匀性，光学带隙和光学各向异性。然而，该方法不是直接评估方法，而是使用光学模型的间接评估方法，因此难以直观地理解。为了消除这种烦恼，最好使用具有丰富数据分析软件的可商购设备，这种可商购药品商店目前是从最先进的基础研究到生产产品而制造的。它已广泛应用于野外。

著录项

  • 来源
    《トライボロジスト》 |2012年第7期|p.455-460|共6页
  • 作者

    桜井正行;

  • 作者单位

    （株）堀場製作所　東京セールスオフィス（〒101-0063　東京都千代田区神田淡路町2丁目6神田淡路町二丁目ビル）;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号