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エリプソメトリー

机译:椭偏仪

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摘要

エリプソメトリーは,非常に高い感度・精度・定量性を持つ計測法である.その反面,測定されるパラメータの意味が分かりにくく,光学モデルを介して膜厚・光学定数を求めるため,解析プロセスが直感的に理解しづらい.エリプソメトリーの解説書としては,理論的な取扱いがまとめられているAZZAMとBASHARAの文献1)が有名だが,数学的で難易度が高い.通読するのであれば,光学の基礎から測定/解析の実際までを日本語で解説している文献2)がお薦めである.
机译:椭偏法是一种具有极高灵敏度,准确性和定量性的测量方法。另一方面,所测量的参数的含义难以理解,并且膜厚度和光学常数是通过光学模型确定的,使得分析过程难以直观地理解。作为椭圆偏光法的手册,AZZAM和BASHARA的文献1)总结了理论方法,虽然很著名,但是在数学上是困难的。如果您想通读,我建议您参考2),它用日语解释了光学原理到实际的测量/分析。

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