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首页> 外文期刊>Journal of Microelectromechanical Systems >Computation of static shapes and voltages for micromachined deformable mirrors with nonlinear electrostatic actuators
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Computation of static shapes and voltages for micromachined deformable mirrors with nonlinear electrostatic actuators

机译：具有非线性静电致动器的微机械可变形反射镜的静态形状和电压的计算

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In modeling micromachined deformable mirrors with electrostatic actuators whose gap spacings are of the same order of magnitude as those of the surface deformations, it is necessary to use nonlinear models for the actuators. In this paper, we consider micromachined deformable mirrors modeled by a membrane or plate equation with nonlinear electrostatic actuator characteristics. Numerical methods for computing the mirror deformation due to given actuator voltages and the actuator voltages required for producing the desired deformations at the actuator locations are presented. The application of the proposed methods to circular deformable mirrors whose surfaces are modeled by elastic membranes is discussed in detail. Numerical results are obtained for a typical circular micromachined mirror with electrostatic actuators.
机译：在用静电致动器对微机械可变形反射镜进行建模时，其间隙间距与表面变形的间隙间距处于相同数量级，因此有必要对致动器使用非线性模型。在本文中，我们考虑由具有非线性静电致动器特性的膜或板方程建模的微机械可变形反射镜。提出了用于计算由于给定的致动器电压和在致动器位置处产生期望的变形所需的致动器电压而引起的镜变形的数值方法。详细讨论了所提出的方法在其表面由弹性膜建模的圆形可变形反射镜上的应用。对于具有静电致动器的典型圆形微加工镜，获得了数值结果。

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