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【24h】

Fabrication and characterization of aluminum oxide thin film micropatterns on the glass substrate

机译：玻璃基板上氧化铝薄膜微图案的制备与表征

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This paper reports a standard lithography-based fabrication process of arrayed anodic aluminum oxide (MO) thin film micropatterns on the glass substrate and the characterization of their optical properties. The fabrication process is compatible with the MEMS and microfluidics fabrication processes, and it offers great flexibility for fabricating a variety of shapes of AAO micropatterns as small as 5 μm. Experiments find that the optical properties of the as-fabricated AAO micropatterns remain unaffected by the chemicals used in the fabrication process. Specifically, the significant fluorescence enhancement capability and the unique optical interference characteristics of the AAO micropatterns remain unchanged. Due to the flexibility and compatibility of the fabrication process, the AAO micropatterns can be readily integrated on a single chip to form arrayed label-free biosensing technical platform or arrayed fluorescence-based technical platform for a variety of applications.
机译：本文报道了在玻璃基板上基于标准光刻的阵列阳极氧化铝（MO）薄膜微图案的制造工艺及其光学特性的表征。该制造工艺与MEMS和微流体制造工艺兼容，并且为制造各种形状的AAO微图案（小至5μm）提供了极大的灵活性。实验发现，制成的AAO微型图案的光学特性不受制造过程中使用的化学药品的影响。特别地，AAO微图案的显着的荧光增强能力和独特的光学干涉特性保持不变。由于制造过程的灵活性和兼容性，AAO微图案可轻松集成在单个芯片上，以形成阵列式无标签生物传感技术平台或阵列式基于荧光的技术平台，可用于多种应用。

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