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PFPE-based materials for the fabrication of micro- and nano-optical components

机译：基于PFPE的材料，用于制造微光学和纳米光学组件

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摘要

Preliminary results of an exploration of the use of a specially prepared UV-curable tetrafunctional ure-thane methacrylate perfluoropolyether (PFPE) for polymer molding are presented in this work. Different PFPE-based elastomeric micro and nanostructures were generated either by UV-lithography from integrated microlenses or replica molding of different optical components, such as diffraction gratings, waveguides and photonic crystals. Fast replication without applying pressure or thermal treatments, demonstrated the efficiency of this polymer to reproduce micro and over 100 nm features with large aspect ratios, whereas in the case of smaller features the fabrication is still facing distortion and resolution problems, possibly due to a higher than expected viscosity of the prepolymer.
机译：在这项工作中，展示了使用特殊制备的可UV固化的四官能尿烷甲基丙烯酸甲酯全氟聚醚（PFPE）进行探索的初步结果。不同的基于PFPE的弹性体微结构和纳米结构是通过紫外光刻技术从集成微透镜或不同光学组件（例如衍射光栅，波导和光子晶体）的复制模制中产生的。快速复制而无需施加压力或热处理，证明了该聚合物能够以大的长宽比复制微米和超过100 nm的特征，而在较小特征的情况下，制造仍面临变形和分辨率问题，这可能是由于更高的高于预聚物的预期粘度。

著录项

  • 来源
    《Microelectronic Engineering》 |2012年第9期|p.208-211|共4页
  • 作者

    Manuel Gomez; Massimo Lazzari;

  • 作者单位

    Centre for Research in Biological Chemistry and Molecular Materials (CIQUS), c.Jenaro de la Fuente-Campus Vida, University of Santiago de Compostela, 15782 Santiago de Compostela, Spain;

    Centre for Research in Biological Chemistry and Molecular Materials (CIQUS), c.Jenaro de la Fuente-Campus Vida, University of Santiago de Compostela, 15782 Santiago de Compostela, Spain;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    perfluoropolyether-based elastomers; photopolymerization; replica molding;

    机译：全氟聚醚基弹性体;光聚合;复制品成型;

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