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Three-dimensional structuration of zero-shrinkage LTCC ceramics for microfluidic applications

机译：零收缩LTCC陶瓷的微流控应用三维结构

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摘要

In this paper, a simple and repeatable method for realization of microfluidic channels in zero-shrinkage LTCC Green Tape™ system (Heraeus~® HL2000, Germany) is presented. This method is basing on two-step lamination process and use of sacrificial volume material (SVM). Three different fugitive materials are taken into account: high purity carbon paste, carbon tape (Thick Film Technologies, USA) and cetyl alcohol. The methods of analysis such as TGA (thermo-gravimetric analysis) and SEM (scanning electron microscope) are used to characterize this new fabrication process of microfluidic channels in zero-shrinkage LTCC ceramics.
机译：本文提出了一种在零收缩LTCC Green Tape™系统（Heraeus〜®HL2000，德国）中实现微流体通道的简单且可重复的方法。该方法基于两步层压工艺和牺牲体积材料（SVM）的使用。考虑了三种不同的逃逸材料：高纯度碳糊，碳带（美国厚膜技术公司）和鲸蜡醇。使用TGA（热重分析）和SEM（扫描电子显微镜）等分析方法来表征零收缩LTCC陶瓷中这种微流体通道的新制造过程。

著录项

  • 来源
    《Microelectronics reliability》 |2009年第6期|585-591|共7页
  • 作者

    Karol Malecha; Leszek J. Golonka;

  • 作者单位

    Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, Poland;

    Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, Poland;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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