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【24h】

微細化とともに進化が加速する洗浄技術

机译:清洁技术可通过小型化加速发展

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摘要

先端プロセス技術開発は,いよいよ45nmノード以降に突入した。量産展開に向けた動きが進むにつれて重要さを増しているのが, 歩留まり向上のカギを握る洗浄技術。45nmノードを境に急速に高度化するプロセス技術。90nmノード以降に始まったウエーハの大口径化。これらを受けて洗浄技術の進化が加速している。
机译:先进工艺技术的发展终于进入了45 nm节点及以后。随着大规模生产的发展,清洁技术的重要性日益提高,这是提高产量的关键。在45纳米节点上迅速发展的工艺技术。 90nm节点之后开始生产更大的晶片。响应于此,清洁技术的发展正在加速。

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