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Directional couplers fabricated via a sol-gel route and conventional optical lithography

机译：通过溶胶-凝胶法和传统的光刻技术制造的定向耦合器

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摘要

This work presents directional couplers fabricated by wet chemical etching of sol-gel derived inorganic silica-titania (SiO_2:TiO_2) waveguide films. In the work there are presented the results of theoretical analysis, applied technological procedure and results of experimental study of the directional couplers. In theoretical analysis we applied the Field Mode Matching method. In all technological processes involving masking, conventional optical lithography were used. A photoresist was used as a mask in the chemical etching processes. The water solution of ammonia fluoride was used as an etchant. Rib waveguides of 6 nm rib height and of rib width equal 2 μm were monomode for a wavelength of λ = 677 nm. The attenuation determined for fabricated rib waveguides is approximately equal to 1.7 dB/cm. The results of theoretical analysis are in excellent agreement with experimental ones.
机译：这项工作提出了定向耦合器，通过对溶胶-凝胶衍生的无机二氧化硅-二氧化钛（SiO_2：TiO_2）波导膜进行湿法化学蚀刻制成。在工作中给出了定向耦合器的理论分析结果，应用技术程序和实验研究结果。在理论分析中，我们应用了场模式匹配方法。在涉及掩模的所有工艺过程中，都使用了常规的光刻技术。在化学蚀刻工艺中，将光致抗蚀剂用作掩模。氟化氨水溶液用作蚀刻剂。对于波长λ= 677 nm，具有6 nm肋高和等于2μm肋宽的肋波导是单模的。为制造的肋形波导确定的衰减大约等于1.7 dB / cm。理论分析的结果与实验结果非常吻合。

著录项

  • 来源
    《Optical and quantum electronics》 |2016年第1期|211-224|共14页
  • 作者

    Cuma Tyszkiewicz; Pawel Karasinski; Roman Rogozinski;

  • 作者单位

    Department of Optoelectronics, Silesian University of Technology, ul. B. Krzywoustego 2, 44-100 Gliwice, Poland;

    Department of Optoelectronics, Silesian University of Technology, ul. B. Krzywoustego 2, 44-100 Gliwice, Poland;

    Department of Optoelectronics, Silesian University of Technology, ul. B. Krzywoustego 2, 44-100 Gliwice, Poland;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    Sol-gel; Silica-titania film; Rib waveguide; Directional coupler;

    机译：溶胶凝胶二氧化硅-二氧化钛薄膜;肋形波导定向耦合器;

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