...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Optical engineering >Common-path two-wavelength interferometer with submicron precision for profile measurements in on-line applications
【24h】

Common-path two-wavelength interferometer with submicron precision for profile measurements in on-line applications

机译：亚微米精度的共路径两波长干涉仪，用于在线应用中的轮廓测量

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

We propose a common-path two-wavelength interferometric system based on a single optical element, a Savart plate, that is able to obtain single-shot profile measurements with submicron precision from safe working distances (beyond 100 mm). These characteristics make this sensor ideal for surface inspection in on-line applications. For the illumination branch, two lasers with close wavelengths are combined and then passed through a rotating holographic diffuser for drastic speckle reduction. In the acquisition branch, the interferometric signals of both wavelengths are captured simultaneously by a camera, and their phase signals are combined to extend the measurement range.
机译：我们提出了一种基于单一光学元件Savart板的共路径两波长干涉测量系统，该系统能够从安全工作距离（超过100毫米）以亚微米精度获得单次轮廓测量。这些特性使该传感器非常适合在线应用中的表面检查。对于照明分支，将两个具有近波长的激光组合在一起，然后通过旋转的全息漫射器以大幅减少斑点。在采集分支中，两个波长的干涉信号均由摄像机同时捕获，并且将它们的相位信号合并以扩展测量范围。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号