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Time-domain surface profile imaging via a hyperspectral Fourier transform spectrometer

机译:通过高光谱傅立叶变换光谱仪进行时域表面轮廓成像

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摘要

We describe a method for time-domain surface profile measurements via white-light reflection spectroscopynusing a hyperspectral Fourier transform spectrometer (HS-FTS). This technique measures the frequency ofnthe spectral modulation of reflected light from a multilayer optical surface and reports the spatially resolvednoptical thickness. Owing to the Fourier relationship, the Fourier transform spectrometer manifests thisnspectral modulation as temporal satellites in interferogram space. We show that measurement of the posi-ntions of these satellites can be used to reconstruct the optical thickness profile over a surface using thenHS-FTS. © 2008 Optical Society of America
机译:我们描述了一种通过使用高光谱傅立叶变换光谱仪(HS-FTS)的白光反射光谱法进行时域表面轮廓测量的方法。该技术测量来自多层光学表面的反射光的光谱调制频率,并报告空间分辨的正向厚度。由于傅立叶关系,傅立叶变换光谱仪将这种光谱调制表现为干涉图空间中的时间卫星。我们表明,这些卫星的位置测量值可以用于随后使用HS-FTS重建表面上的光学厚度轮廓。 ©2008美国眼镜学会

著录项

  • 来源
    《Optics Letters》 |2008年第12期|p.1368-1370|共3页
  • 作者单位

    Department of Electrical and Computer Engineering, Boston University, 8 Saint Mary’s Street,Boston, Massachusetts 02215, USA* Corresponding author: jrentz@optra.com;

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  • 正文语种 eng
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