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MEMS商業化技術専門委員会MEMSとIoT製造技術

机译：MEMS商业化技术専门委员会MEMSとIoT制造技术

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摘要

MEMS商業化専門技術委員会は，ナノインプリント技術を研究するマイクロ成形分科会，MEMSパッケージ分科会，常温接合など表面界面制御を利用した製造プロセスを研究するナノ製造科学分科会の3分科会を前身に，2003年2月に発足した.15年前の当時は，欧米でも"MEMS Commercialization"を扱う国際シンポジウム，ワークショップが複数開催されており，上記分科会が調査研究対象としていた接合•実装技術や非シリコンプロセスは，間違いなくMEMS商業化のキー技術と考えられていた.その後，（残念ながら？委員会の活動とは無関係に），まさに多くのMEMSデバイスが搭載されるスマートフォンが急速に普及するなど，MEMSの商業化が順調に進展したのは周知のとおりである.すでに前回の専門委員会レビュー1: を担当した2014年時点でも，"スマートフオン市場が牽引するMEMSの商業化の進展"は顕著だったわけだが，現在はそれにIoT (Internet of Things)用センサでさらに活況を呈することが期待されているという状況であろう力、.2014年のレビューでは，「"依然として（わが国のMEMSは）大学•公的研究機関において出された多種多様なアイデアの実用化が進展しているといえない"ため，本専門委員会も引き続き活動を行っている」旨を述べたが,その問題意識は現在でも変わっていない.具体的には以下のような課題があると考えて，継続して活動を行ってきた.
机译：MEMS商业化技术委员会是负责研究纳米压印技术的微成型小组委员会，MEMS封装小组委员会以及研究利用表面界面控制（例如室温粘接）的制造工艺的纳米制造科学小组委员会的三个小组委员会的前身。成立于2003年2月。在15年前的那个时候，在欧洲和美国举办了几次有关“ MEMS商业化”的国际研讨会和讲习班，上述小组委员会是研究和加入的目标。可以说，技术和非硅工艺被认为是MEMS商业化的关键技术，然后（不幸的是，无论委员会的活动如何）带有这么多MEMS设备的智能手机都在迅速增长。众所周知，由于其广泛使用等原因，MEMS的商业化一直在稳步发展。即使到2014年，当我已经负责上届专家委员会的评论1时，“ MEMS的商业化仍由智能手机市场驱动。 “ ”的进步令人瞩目，但似乎现在物联网传感器有望更加活跃。根据2014年的评论，“ ” （日本的MEMS）大学•不能说公共研究机构提交的各种想法的实际应用正在进步，“因此，本技术委员会正在继续其活动。”但是，即使到现在，对问题的认识也没有改变，我继续开展活动，认为存在以下问题。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2018年第10期|830-833|共4页
  • 作者

    伊藤寿浩;

  • 作者单位

    東京大学大学院新領域創成科学研究科（千葉県柏市柏の葉1-5-1);

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