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ELID研削とポりシングを連携させたピコプレシジョン加工の試み

机译:尝试将ELID研磨和抛光联系在一起的pico精密加工

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摘要

これまで長年の夢とされてきたナノプレシジョン加工は,かかる研究開発の進展によって,今や具現化されたと言ってもよい.この背景には,シングルナノレベルの粗さ/表面精度と,数十ナノレベルの形状精度の両立が求められる加工ニーズの市場の醸成にともない,ナノ加工システムゃナノ測定システムの実用ニーズが高まり,これらと有機的にリンクする加工プロセスの研究が加速したことが大きい.
机译:可以说,纳米精密加工一直是多年来的梦想,现在已经随着这种研究和开发的进展得以体现。背景是单纳米级的粗糙度/表面精度和几十纳米级的精度。随着对需要形状精度的兼容性的加工需求的市场的培育,对纳米加工系统和纳米测量系统的实际需求已经增加,并且与之有机联系的加工工艺的研究也加速了。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2019年第4期|304-309|共6页
  • 作者单位

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    群馬大学(群馬県桐生市天神町1-5-1);

    九州大学(福岡市西区元岡744);

    早稲田大学(東京都新宿区大久保3-4-1);

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