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ELID研削とポりシングを連携させたピコプレシジョン加工の試み

机译:用ELID研磨和轮询的皮色手术处理的尝试

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摘要

これまで長年の夢とされてきたナノプレシジョン加工は,かかる研究開発の進展によって,今や具現化されたと言ってもよい.この背景には,シングルナノレベルの粗さ/表面精度と,数十ナノレベルの形状精度の両立が求められる加工ニーズの市場の醸成にともない,ナノ加工システムゃナノ測定システムの実用ニーズが高まり,これらと有機的にリンクする加工プロセスの研究が加速したことが大きい.
机译:纳费密加工较长的梦想是现在可以体现长期纳米精密加工。该背景是单一纳米级粗糙度/表面精度,几十个纳米级纳米力学系统纳米测量系统实际需要高,以及与这些处理过程的处理过程正在增加,在促进需要既需要既有形状精度的营销需求则增加。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2019年第4期|304-309|共6页
  • 作者单位

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    理化学研究所(埼玉県和光市広沢2-1);

    群馬大学(群馬県桐生市天神町1-5-1);

    九州大学(福岡市西区元岡744);

    早稲田大学(東京都新宿区大久保3-4-1);

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  • 正文语种 jpn
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