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自己校正型非接触高精度ェンコーダ システムの開発実用化

机译：开发自我校准的非接触式高精度执法系统

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摘要

正確な角度測定の重要性は，精密加工や精密測定装置などの分野において年々増加している.例えばエネルギー産業では，大型のタービンブレードゃ歯車などの加工精度は，タービンや風力発電機のエネルギー変換効率や寿命に直接影響するため，径が大きくなるほど角度精度が必要となる.元来，これらの工作機械や精密測定装置の内蔵ェンコーダの校正は，ポリゴンミラーとオートコリメータを用いて行われてきた，しかし，この方法ではミラー面数に等しい点数しか測定できないため非常に限定的であり，今後の精度の向上を満たすのに十分ではない，一方，ロータリエンコーダがこれらの要求を満たすためには，機械に取り付けた状態で高い精度とその再現性を達成する必要がある.その解決策として，一つの目盛り盤（スケール）を複数のセンサへッドで検出し，誤差を他の基準器と比較せずに校正する自己校正法が用いられてきた.しかし，より高い精度をこの方法で実現するためには.センサへッド数が増大し.エンコーダのサイズも大きくなる.そのため，空間や重量に制約のある機械に用いるには問題となつた.また，実際に設置することができたとしても.ロータリエンコーダ自体が回転軸を有する場合には，ロータリエンコーダの回転軸と校正対象のスピンドルの回転軸のミスマッチにより機械的干渉が生じるため，想定された精度が達成できないことも多い.
机译：精确的角度测量的重要性在精密加工和精密测量装置的领域年份增加。例如，在能源行业中，加工精度，如大型涡轮机叶片等，应为涡轮机或风力发电机的能量转换直径直接受到影响，直径越大，直径越大。最初，使用多边形镜和自动调用器已经校准了这些机床和精密测量装置的事件。但是，这种方法非常有限，因为它只能测量等于镜面平面的点数，并且不足以满足未来准确性的提高，而旋转编码器满足这些要求，有必要在连接到机器的状态下实现高精度及其再现性。作为一个解决方案，使用多个传感器检测一个刻度（比例）并将误差与其他标准进行比较，已经使用了待校准的自校准方法。但是，为了以这种方式实现更高的准确性。传感器的数量增加。编码器也增加。因此，空间和重量它成为一个有限制的机器使用它的问题。此外，即使它可以实际安装。如果旋转编码器本身具有旋转轴，则旋转轴的旋转轴编码器和要校准的旋转轴不匹配的主轴也会导致机械干扰，因此通常不可能实现假设的精度。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2019年第2期|137-140|共4页
  • 作者

    石井信行; 谷口佳代子; 江ロ繁樹; 君澤信亮; 大越靖也;

  • 作者单位

    正会員（株)マグネスケール（神奈川県伊勢原市鈴川45);

    (株)マグネスケール(神奈川県伊勢原市鈴川45);

    (株)マグネスケール(神奈川県伊勢原市鈴川45);

    (株)マグネスケール(神奈川県伊勢原市鈴川45);

    (株)マグネスケール(神奈川県伊勢原市鈴川45);

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