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超精密位置決めにおけるアンケート調査: 精密メカトロニクスと精密計測に関するアンケート調査

机译：超精密定位调查问卷调查：精密机电一体化和精密测量的问卷调查

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摘要

超精密位置決め技術は.半導体製造装置に代表される精密機械技術を支える基盤技術の一つである.そして，ァクチユエータ，運動伝達要素，案内要素，センサなどの計測技術，制御技術および外乱抑制技術などの幅広い機械•電子技術の集大成であり，各々の技術の進歩なくしては達成が不可能な統合的な技術でもある.特に精密•正確な位置決めだけではなく高速化つまり単位時間当たりの処理能力(スループット)向上への要求が厳しくなつて久しい.
机译：超精密定位技术是支持半导体制造设备所代表的精密机械技术的基本技术之一。和测量技术，控制技术和扰动抑制技术，如抑制公用事业，运动传动元件，引导元件，传感器，控制技术和干扰等抑制技术广泛的机器•它是一种综合技术，可与电子技术易于理解，而无需每种技术的进展。特别是精确的定位，而且每单位时间的加工能力也是如此，不仅是准确的定位（需求）提高吞吐量严重且更长。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2020年第10期|735-740|共6页
  • 作者

    大岩孝彰; 勝木雅英;

  • 作者单位

    静岡大学工学部(静岡県浜松市中区城北3-5-1);

    芝浦機械株式会社 工作機械カンパニー技術部(静岡県沼津市大岡2068-3);

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