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超精密位置決めにおけるアンケート調査: 精密メカトロニクスと精密計測に関するアンケート調査

机译：超精密定位问卷调查：精密机电一体化和精密测量问卷调查

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摘要

超精密位置決め技術は，半導体製造装置を頂点とする精密機械技術を支える基盤技術の一つである.かつ，アクチユエータ，各種機械要素，案内要素，センサなどの計測技術および制御技術などの幅広い機械•電子技術の集大成であり，おのおのの技術の進歩なくしては達成が不可能な統合的な技術でもある.「超精密位置決め専門委員会」(東京工業大学佐藤海二委員長)の5つの小委員会の中にアンケート小委員会がある.この委員会の役割は位置決め技術の現状と変遷，そして現時点と将来的に発生しうる具体的な問題点等について調査することにある.この「超精密位置決めアンケート」は1986年以来4年ごとに実施され，昨年10月の調査が第8回目となる.
机译：超精密定位技术是支持精密机械技术的基础技术之一，其顶部是半导体制造设备，而多种机械例如致动器，各种机械元件，导向元件，传感器以及其他测量和控制技术。它是电子技术的高潮，也是一项综合技术，如果没有每种技术的进步就无法实现。“超精密定位特别委员会”的五个小组委员会（东京工业大学董事长佐藤启治）该委员会有一个问卷调查小组委员会，其职责是调查定位技术的现状和过渡，以及当前和将来可能发生的特定问题。自1986年以来，每四年进行一次``定位调查表''，而去年10月的调查是第八次。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2015年第10期|904-910|共7页
  • 作者

    大岩孝彰; 勝木雅英;

  • 作者单位

    静岡大学工学部　(静岡県浜松市中区城北　3-5-1);

    東芝機械株式会社ナノ加工システム事業部　(沼津市大岡　2068-3);

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