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巨大クラスターイオン衝撃によるX線光電子分光法の深さ方向分析の展開

机译：巨团离子轰击X射线光电子能谱的深度剖面研究进展

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摘要

巨大クラスターイオンである帯電液滴の原理と特性の説明，およびX線光電子分光法の深さ方向分析への応用を紹介した.帯電液滴エッチング法は，有機材料のみならず無機材料に対しても，試料損傷なく深さ方向分析可能なエッチング能力を有していることを示した.また，XPSの特徴と帯電液滴エッチング法との組み合わせは，XPSによる深さ方向分析に新たな展開として，化学組成だけでなく化学結合状態の深さ方向分析を可能とすることを紹介した.しかし，まだ技術面で解決しなくてはならない点も数多くある.特に機器のコンパクト化，超高真空への対応が挙げられる.また，各種材料に対するエッチングメカニズムの詳細な解析が必要であり.これらを解決することで，今後高分子材料の内部や基板との界面での現象解明に帯電液滴ェッチング法は，必修の技術となっていくことが期待される.
机译：介绍了带电液滴巨簇离子的原理和特性，介绍了X射线光电子能谱在深度方向分析中的应用，带电液滴刻蚀不仅适用于有机材料，还适用于无机材料。此外，已证明其具有能够进行深度方向分析而不会损坏样品的蚀刻能力。此外，XPS功能和带电液滴蚀刻方法的结合是XPS深度方向分析的新发展。不仅介绍了化学成分，还介绍了化学键状态的深度方向分析，但是，在技术上还有很多问题需要解决，特别是设备的小型化，超高真空另外，需要对各种材料的蚀刻机理进行详细分析，通过解决这些问题，将来将使用带电液滴蚀刻方法来阐明聚合物材料内部以及与基板的界面处的现象。有望成为必需的技术。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2016年第4期|329-334|共6页
  • 作者

    飯島善時;

  • 作者单位

    日本電子㈱経営戦略室(東京都昭鳥巿武蔵野3-1-2);

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  • 正文语种 jpn
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