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ガスクラスターイオンビームによる超精密加工

机译:气体团簇离子束的超精密加工

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摘要

超精密加工技術は,エレクトロニクス,精密機械のみならず,新素材,バイオテクノロジー•医療,エネルギー,宇宙•航空など幅広い分野で不可欠な技術である.産業革命の時代に1mm程度であった加工精度は,加工技術•計測精度の向上とともに,物質の極限単位である原子レベルに向かっている.さらに加工対象の材料には,耐摩耗性,耐食性,耐熱性,生体適合性などさまざまな特性を有するものが含まれており,これら各種特性をもつ材料を超高精度で損傷なく加工する技術が求められている.電子,レーザー,イオンなどを用いたエネルギービーム加工は,それらのエネルギー•照射量を精密に制御可能であることから,再現性良く原子レベルの加工が可能な技術として開発が進んでいる.その中でもイオンビームは,運動エネルギー•質量.原子の種類等がパラメータとなっており.除去加工だけでなく薄膜形成や不純物注入など幅広い用途で使われている.
机译:超精密加工技术不仅在电子和精密机械中不可或缺,而且在新材料,生物技术,医疗,能源,航天和航空等广泛领域也必不可少。 ,加工技术•朝着原子水平提高测量精度,这是材料的最终单位,此外,要加工的材料还具有各种特性,例如耐磨性,耐腐蚀性,耐热性和生物相容性。需要一种能够以超高精度,无损伤地加工具有这些各种特性的材料的技术,使用电子,激光,离子等进行能量束加工。由于能够以受控方式进行控制,因此它正在发展成为一种能够以良好的可重复性进行原子级处理的技术,其中离子束具有诸如动能,质量,原子种类等参数。它不仅可用于广泛的应用中,例如薄膜形成和杂质注入。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2016年第4期|315-319|共5页
  • 作者

    豊田紀章; 山田 公;

  • 作者单位

    兵庫県立大学大学院工学研究科;

    兵庫県立大学大学院工学研究科;

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