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最新エンコーダ技術と展望

机译:最新的编码器技术和未来

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摘要

精密位置決めを必要とする半導体製造,工作機械,ロボットなどの分野では,エンコーダは最もよく用いられている位置計測センサである。レーザ干渉計と比べて,耐環境性やコストの面でメリットがあり,検出スピードや分解能も遜色ないレベルに達しているなどの理由から,精密位置決め分野でのェンコーダの利用が拡大し続けている(図1)。
机译:编码器是半导体制造,机床,机器人等领域中需要精确定位的最常用的位置测量传感器。与激光干涉仪相比,它在耐环境和成本上具有优势,并且检测速度和分辨率达到了可比的水平,因此,在精密定位领域中编码器的使用不断扩大。 (图1)。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2016年第9期|773-777|共5页
  • 作者

    高 偉;

  • 作者单位

    東北大学大学院工学研究科 (仙台市青葉区荒巻字青葉 6-6-01);

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  • 正文语种 jpn
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