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【24h】

高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング: 二光子造形による可変プラズモニック素子の開発を中心に

机译:飞秒激光加工用于高性能微型设备:专注于通过两光子建模开发可调谐等离子设备

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摘要

フェムト秒レーザは,文字通りフェムト秒(10~(-15)秒)オーダの超短パルス光を生み出すことが可能であり,1990年代から2000年代前半には,応用物理学会や関連学会で大きなトピックの一つとなった.当時,フェムト秒レーザはすでに市販されていたとはいえ,一般の研究室が入手できる価格ではなく,限られた研究室や研究所の関係者だけが利用できるツールであった.そのころ,著者は学生であり,それらの状況を横目に,共同研究先に通いナノ秒レーザで実験をしていたことを思い出す.近年では,低価格で安定性に優れたファイバーレーザの出現などもあり,大学レベルでは,特殊なツールからより一般的なツールへとなりつつある.フェムト秒レーザの光源としての特徴は,その超短パルス性に由来した極めて高いピーク強度であるが,材料プロセス上の利点の一つは,透明材料の内部を直接に加工できることである.そのユニークな特徴から,当初はガラスなど透明材料内部の屈折率や組成変調が多く報告され,近年は,材料内部での蓄熱効果による溶融接合などへの関心も高い.また,ここ数年の3Dプリンターブームの影響か,改めて造形プロセスにも興味が向けられている.本稿では,著者らがこれまでに取り組んだフェムト秒レーザでの微細構造化プロセスを紹介したい.
机译:从1990年代到2000年代初期,飞秒激光能够产生飞秒级的超短脉冲光(10到(-15)秒)。尽管飞秒激光当时已经在市场上出售,但它不是普通实验室可以买到的价格,而是只能供有限数量的实验室和研究实验室中的人员使用的工具。当时,笔者还是一名学生,并记得当时的情况,他去了协作研究现场,并尝试了纳秒级激光,近年来,出现了低成本和高稳定性的光纤激光器等。在大学级别,一种特殊的工具正变得越来越普遍,飞秒激光作为光源的特征是其超短脉冲特性产生的极高峰值强度,但并非如此。优点之一是可以直接加工透明材料的内部,由于其独特的特性,最初报道了玻璃等透明材料内部的许多折射率和组成变化。由于蓄热的作用,人们对熔融焊接也非常感兴趣,而且由于近年来3D打印机热潮的影响,对建模过程也再次产生了兴趣。我想介绍一下激光微加工工艺。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2015年第8期|718-721|共4页
  • 作者

    西山宏昭;

  • 作者单位

    山形大学大学院理工学研究科(米沢市城南4-3-16);

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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