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フェムト秒レーザを用いた透明材料の接合技術

机译：飞秒激光用于透明材料的粘合技术

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摘要

耐熱性，気密性に優れ，微細な封止技術を開発するためには，低温プロセスまたは熱影響の少ない精密接合技術が必要である.レーザ接合は非接触で微細な接合が可能である.また，パルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーの超短パルスレーザは物質表面や内部の微細な加工が可能である.この超短パルスを密着させた2つの透明材料の境界面に集光照射すれば，レーザパルスの波長に対して吸収がない材料を直接接合できる.本稿では，超短パルスレーザ接合の基本原理を概説し，ガラスをはじめとした透明材料間の接合，および，透明材料と金属や半導体との接合に関する原理と研究動向について述べる.
机译：为了开发出具有优异的耐热性和气密性的精细封装技术，需要低温工艺或热影响较小的精密粘合技术，激光粘合可以实现无接触的精细粘合。 ，脉冲宽度在皮秒至飞秒量级的超短脉冲激光可以对材料表面和内部进行精细加工，如果将这种超短脉冲聚焦并照射在两种透明材料之间的边界面上，可以直接粘合不吸收激光脉冲波长的材料，本文概述了超短脉冲激光粘合，玻璃等透明材料与透明材料和金属之间的粘合的基本原理。本节介绍与半导体键合有关的原理和研究趋势。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2015年第8期|731-734|共4页
  • 作者

    渡邊　歴; 玉木隆幸;

  • 作者单位

    立命館大学理工学部(滋賀県草津市野路東1-1-1);

    奈良工業高等専門学校(奈良県大和郡山市矢田町22番地);

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