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2014年度(第34回)精密工学会技術賞受賞業績の紹介

机译：2014年（第34届）日本精密工程技术学会奖

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ガラスの鏡面研磨には長年酸化セリウムの砥粒を含んだウレタン樹脂の研磨パッドが用いられているが，生産性の向上や新たな工作物の要求に対して加工技術が飽和に近い状況にあった.本業績では，エポキシ樹脂を採用した研磨パッドを開発することにより，砥粒の高い保持性を実現し，研磨時間を短縮させることを可能としている.またシリコンウエハの研磨でも従来パッドの研磨性特性を上まわることに成功している.従来エポキシ樹脂は硬くて脆いため研磨パッドの材質には適さないとされていたが，可撓性に富むエポキシ多孔質体を世界で初めて実現し，研磨工具に適用できるようにしている.本研磨パッドは従来にないものであったため，安定製造に困難を伴ったが，それを乗り越えて実現させたことは実用化に近い研究成果であって，工業的に大きな意義を有している.
机译：含有氧化铈颗粒的聚氨酯树脂抛光垫已被用于抛光玻璃镜面多年，但由于生产率提高和新的工件要求，加工技术已接近饱和。在此成就中，通过开发使用环氧树脂的抛光垫，可以实现磨粒的高度保留并缩短抛光时间。过去，环氧树脂坚硬易碎，据说不适合用于抛光垫材料，但我们认识到世界上第一种高柔韧性的环氧多孔材料，由于这种抛光垫是史无前例的，因此很难实现稳定的制造，但是克服它是接近实际应用的研究成果，具有重要的工业意义。

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    《精密工学会誌》 |2014年第12期|a4-a6|共3页
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