非接触原子間力顕微鏡技術と室温原子操作

阿部真之; 杉本宜昭; 森田清三

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非接触原子間力顕微鏡技術と室温原子操作

机译：非接触原子力显微镜技术和室温原子操纵

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走査型プロ一ブ顕微鏡(Scanning Probe Microscopy; SPM)は，先鋭な針(探針)で試料表面をなぞり，微細な表面構造をイメージング(画像測定)する手法である.SPMにおいてイメージングできる試料表面の情報は，表面形状(凹凸)だけではなく，探針と試料との支配的な相互作用によってさまざまある.

机译：扫描探针显微镜（SPM）是一种使用锋利的针（探针）追踪样品表面以对精细的表面结构成像（图像测量）的技术。信息不仅限于表面形状（凹面和凸面），还取决于探针和样品之间的主要相互作用。

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来源
《精密工学会誌》 |2013年第3期|200-204|共5页
作者
阿部真之; 杉本宜昭; 森田清三;
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作者单位

名古屋大学工学研究科　名古屋市千種区不老町;

大阪大学工学研究科　大阪府吹田市山田丘2-1;

大阪大学産業科学研究所　大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1;

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