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複合化で広がるナノインデンテーション測定の世界

机译：通过复合扩大纳米压痕测量的世界

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摘要

ナノインデンテーション試験はIS014577で規格化されている計装化押し込み試験法による硬さ試験の一種である.試験中の荷重と変位を連続的に把握することにより，硬さ値だけでなく，ヤング率ゃクリープなど複数の機械的特性を導出できる表面物性の評価法としては有力な試験法である.特に近年は微細加工技術や表面改質技術，極薄膜を製造する技術の飛躍的な進歩により従来の引張•圧縮•曲げ試験などによる機械的特性把握が困難な試料が増えていることから，規定された試験片形状によることなく材料表面の微小領域で測定可能なナノインデンテーション試験は工業界において広く利用されるようになってきている.一方で，ナノインデンテーションは押込み荷重，変位量がわずかなため，測定部周辺の三次元形状や残留応力などの影響を受けやすく，従来の硬さ試験では無視できたこれら要因についても十分な検討が必要となる.このような知見を得られれば，その試験精度向上を実現できると考えられる.そこで，本稿ではナノインデンテーション試験装置に他の観察•分析法を複合化させることによりナノインデンテーション測定の世界を広げる試みを紹介したい.
机译：纳米压痕测试是一种通过IS014577标准化的仪器压痕测试方法进行的硬度测试，通过不断掌握测试过程中的载荷和位移，不仅硬度值而且还包括杨氏硬度。这是一种强大的测试方法，可用于评估可得出多种机械性能（例如模量和蠕变）的表面物理性能，尤其是近年来，由于微细加工技术，表面改性技术和超薄膜制造技术的突破，该方法尤为重要。由于常规拉伸/压缩/弯曲测试无法掌握其机械性能的样品数量正在增加，因此行业中使用了可以在材料表面的微小区域内进行测量的纳米压痕测试，而无需依赖于规定的测试件形状。另一方面，由于纳米压痕的压痕载荷和位移小，因此容易受到测定部位周围的三维形状和残留应力以及以往的硬度的影响。有必要对这些在测试中可以忽略的因素进行彻底的研究，并且认为，如果获得了这些知识，就可以实现测试准确性的提高。我想介绍一种通过结合分析方法来扩展纳米压痕测量领域的尝试。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2013年第12期|1192-1195|共4页
  • 作者

    藤塚将行; 山口　誠;

  • 作者单位

    機械振興協会技術研究所（東京都東久留米市八幡町1-1-12）;

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