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一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元及其测量方法

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摘要

本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元，包括：柔性铰链；第一立柱和第二立柱，其设置在柔性铰链底面两侧；横梁，其轴向两侧分别与第一立柱和第二立柱固定连接；第一圆形通孔，其设置在横梁中心；滑块，其轴向固定设置在第一立柱的内侧面；导轨，其一侧设置有与滑块配合的凹槽，并与滑块可滑动连接；参考架，其短边外端设置有第二圆形通孔；压套，其同轴设置在所述第二圆形通孔下方；软压环，其为圆环形，且同轴固定设置在远离参考架的所述压套一端；读数头，其固定设置在参考架短边一侧上；压头，其一端与所述柔性铰链底面中心固定连接，另一端同轴伸入所述压套内。本发明公开一种用于纳米压痕仪的纳米级测量加载单元的测量方法。

著录项

  • 公开/公告号CN110320120A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长春因赛图精密仪器设备有限公司;

    申请/专利号CN201910643889.8

  • 发明设计人 路东辉;赵宏宇;姜绍东;

    申请日2019-07-17

  • 分类号

  • 代理机构北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人许小东

  • 地址 130000 吉林省长春市北湖科技开发区盛北大街3333号长春北湖科技园产业一期C1-501室

  • 入库时间 2024-02-19 13:49:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N3/44 申请日:20190717

    实质审查的生效

  • 2019-10-11

    公开

    公开

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