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首页> 外文期刊>精密工学会誌 >2つの共振駆動モードと1つの非共振駆動モードを有する超音波モータの開発
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2つの共振駆動モードと1つの非共振駆動モードを有する超音波モータの開発

机译：具有两种共振驱动方式和一种非共振驱动方式的超声波马达的开发

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In this study, a new design of an ultrasonic motor to expand the controllable driving speed range is proposed . Two piezoelectric elements are bonded to the metal elastic body with the cross angle of 90°. When one of the piezoelectric element vibrates at resonance frequency of elastic body, the contact point of between the motor and the carriage moves elliptically and the driving force is generated. The driving direction conversion can be easily performed by switching the piezoelectric elements. The motor have three drive modes. In the first mode (= a high-speed driving mode), the elliptical motion is provided by degenerating the resonance vibrations in X and Y directions of the metal-elastic body. In the second mode (= a low-speed driving mode), a combination of X-direction resonance vibration and piezoelectric element's original vibration is used. In the third mode (= a fine motion mode), small expansions of the piezoelectric elements with stick-slip motion are used. In this research, these three modes are combined to attain the wide range of the driving speed. As a result, the driving speed range from 10 to 500mm/s is obtained by adjusting the driving voltage and driving frequency. In the paper the principle, the design and experimental results are discussed.%近年，半導体露光装置や超精密加工などの分野に利用されるrn超精密位置決め技術には，高速駆動，高効率，高推力などの多rn様な性能が求められている．圧電素子は小型で高推力，高速応rn答性，高分解能という特徴を持っており応用が広がっている．rnしかし圧電素子は変位量が小さく可動範囲が狭い欠点がある．
机译：在这项研究中，提出了一种超声波电动机的新设计，以扩大可控制的驱动速度范围。两个压电元件以90°的交叉角粘合到金属弹性体。当压电元件之一以弹性体的共振频率振动时，电动机与滑架之间的接触点椭圆运动，并产生驱动力。通过切换压电元件可以容易地执行驱动方向转换。电机具有三种驱动模式。在第一模式（＝高速驱动模式）下，通过使金属弹性体的在X和Y方向上的共振振动简并来提供椭圆运动。在第二模式（=低速驱动模式）下，使用了X方向共振和压电元件原始振动的组合。在第三模式（＝精细运动模式）中，使用具有粘滑运动的压电元件的小膨胀。在本研究中，将这三种模式结合起来可获得较宽的行驶速度。结果，通过调节驱动电压和驱动频率获得了10至500mm / s的驱动速度范围。本文讨论了原理，设计和实验结果。％近年，半导体露光装置や超精密加工などの分野に利用されるrn超精密位置决め技术め，高速駆动，高效率，高推力などの多圧电素子は小型は高推力，高速応rn答性，高分解能という特徴を持っており応用が広がっている。rnしかし圧电素子は変位量が小さく可动范囲が狭い欠点がある。

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