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【24h】

Q5 産学官共同プロジ工クト(公的研究機関とのコラボレーション)の実際を可能な範囲でご紹介ください

机译:问题5请尽可能介绍实际的产学官合作项目(与公共研究机构的合作)。

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摘要

ピータ シリコンウェーハの表面輪郭形状を20nm程度の波長域まで干渉顕微鏡で測定するに際して,シュツソトガルト大学のInstitute of Technical Opticsと共同でデータ解析ソフトウェアを開発した事例があります.偶然の出会いでしたが,やはり学会での発表等を注視することは非常に重要と考えています.USA国内ではアリゾナ大学,ロチェスタ一大学,コネチカット大学,オハイオ大学と交流があります.これも余談ですが,概観するとUSAで製品化された特許技術の30%は大学発であるという統計データがあります.
机译:有一个与斯图加特大学技术光学研究所合作开发数据分析软件的示例,以便使用干涉显微镜测量直至约20 nm波长范围的PETA硅晶片的表面轮廓。这是一个巧合,但我认为关注学术会议上的演讲非常重要。在美国,我们与亚利桑那大学,罗切斯特大学,康涅狄格大学,俄亥俄州大学进行了交流。顺带一提,这是顺带一提,但是有统计数据表明,在美国商业化的专利技术中有30%来自大学。

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  • 来源
    《精密工学会誌》 |2010年第9期|p.985-986|共2页
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  • 正文语种 jpn
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