静圧作動油に起因する超精密工作機械の熱変形抑制

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2009年第9期|1106-1111|共6页
• 作者

  鈴木秀幸; 浦野好市; 久米原宏之; 楠元一臣;

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• 作者单位

  群馬大学大学院（関東精機（株））（群馬県桐生市天神町1-5-1）;

  関東精機（株）（群馬県前橋市大渡町2-1-10）;

  群馬大学大学院（群馬県桐生市天神町1-5-1）;

  群馬大学大学院（群馬県桐生市天神町1-5-1）;

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