歪みセンサのフィードフォワードに基づく磁気軸受活用の制振

涌井伸二; 後藤勇人

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歪みセンサのフィードフォワードに基づく磁気軸受活用の制振

机译：基于应变传感器前馈的电磁轴承振动控制

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磁気軸受を使った真空機器としてのターボ分子ポンプ（以下，rnTMPと略記）を制振装置として活用する研究を行なっている．rn具体的に，文献1）では，両端クランプした梁中央にTPMを懸架rnし，この近傍に設置した加速度センサに基づくTMP内のロータrnの強制加振により梁のペンディング振動を抑制した．rn本寄書では，振動検出センサとして，加速度センサに代えてrn装着スペースに制約のない歪みセンサを用いる．

机译：我们正在进行利用涡轮分子泵（以下简称rnTMP）作为真空装置的研究，该真空装置使用磁性轴承作为减振装置。具体地，在参考文献1）中，TPM悬挂在被夹持在两端的梁的中心处rn，并且基于安装在其附近的加速度传感器，通过在TMP中强制激励转子rn来抑制梁的未决振动。 rn为此，使用了对安装空间没有限制的应变传感器代替加速度传感器作为振动检测传感器。

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来源
《精密工学会誌》 |2009年第11期|1367-1368|共2页
作者
涌井伸二; 後藤勇人;
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作者单位

東京農工大学大学院（東京都小金井市中町2-24-6）;

東京農工大学大学院電気電子工学専攻;

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