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【24h】

ACサーボモータを用いた単結晶引上げ装置用アクティブ・パッシブ切換え型免震装置: 第2報:シミュレーション解析

机译:交流伺服电机用于单晶拉拔器的主动/被动开关型隔震系统:第二份报告:仿真分析

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摘要

前報の振動制御実験では,単結晶引上げ装置を免震する場合に,引上げワイヤと単結晶が形成する比較的長周期な振り子の共振問題等によるアクティブ免震の必要性,および振動制御実験の方法・結果をアクチュエータの違いによる相違も交えながら報告した.本報ではリニアモータを用いた場合と同様,実験結果とシミュレーション解析結果の一致を図ることで,制御器やアクチュエータの改良を試みた場合の免震性能予測を可能とすることを目的とする.
机译:在上一次报告的振动控制实验中,当单晶提拉装置被隔离时,由于由拉丝和单晶形成的周期相对较长的摆的共振问题,需要进行主动地震隔离,以及振动控制实验我们报告了方法和结果,包括不同的执行器。本文的目的是通过将实验结果与模拟分析结果进行匹配,从而在尝试改进控制器和执行器时,能够预测隔震性能,例如在使用线性电动机的情况下。

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