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首页> 外文期刊>Review of Scientific Instruments >A scanning tunneling microscope with a scanning range from hundreds of micrometers down to nanometer resolution
【24h】

A scanning tunneling microscope with a scanning range from hundreds of micrometers down to nanometer resolution

机译：扫描隧道显微镜，扫描范围从数百微米到纳米分辨率

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A beetle type stage and a flexure scanning stage are combined to form a two stages scanning tunneling microscope (STM). It operates at room temperature in ultrahigh vacuum and is capable of scanning areas up to 300 μm × 450 μm down to resolution on the nanometer scale. This multi-scale STM has been designed and constructed in order to investigate prestructured metallic or semiconducting micro- and nano-structures in real space from atomic-sized structures up to the large-scale environment. The principle of the instrument is demonstrated on two different systems. Gallium nitride based micropillars demonstrate scan areas up to hundreds of micrometers; a Au(111) surface demonstrates nanometer resolution.
机译：将甲虫型台和挠曲扫描台组合以形成两阶段扫描隧道显微镜（STM）。它可在室温下以超高真空运行，并能够扫描高达300μm×450μm的区域，直至纳米级分辨率。设计和构建此多尺度STM是为了研究从原子大小的结构到大规模环境的真实空间中的预结构化金属或半导体微结构和纳米结构。该仪器的原理在两个不同的系统上得到了证明。氮化镓基微柱显示的扫描区域可达数百微米。 Au（111）表面显示出纳米分辨率。

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