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Multiple-scanning-probe tunneling microscope with nanoscale positional recognition function

机译：具有纳米级位置识别功能的多扫描探针隧道显微镜

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Over the past decade, multiple-scanning-probe microscope systems with independently controlled probes have been developed for nanoscale electrical measurements. We developed a quadruple-scanning-probe tunneling microscope (QSPTM) that can determine and control the probe position through scanning-probe imaging. The difficulty of operating multiple probes with submicrometer precision drastically increases with the number of probes. To solve problems such as determining the relative positions of the probes and avoiding of contact between the probes, we adopted sample-scanning methods to obtain four images simultaneously and developed an original control system for QSPTM operation with a function of automatic positional recognition. These improvements make the QSPTM a more practical and useful instrument since four images can now be reliably produced, and consequently the positioning of the four probes becomes easier owing to the reduced chance of accidental contact between the probes.
机译：在过去的十年中，已开发出具有独立控制的探头的多扫描探针显微镜系统，用于纳米级电测量。我们开发了一种四扫描探针隧道显微镜（QSPTM），可以通过扫描探针成像来确定和控制探针位置。随着探针数量的增加，操作具有亚微米精度的多个探针的难度急剧增加。为了解决诸如确定探针的相对位置和避免探针之间接触等问题，我们采用了样本扫描方法来同时获取四张图像，并开发了具有自动位置识别功能的用于QSPTM操作的原始控制系统。这些改进使QSPTM成为一种更实用，更有用的仪器，因为现在可以可靠地生成四个图像，并且由于减少了探针之间意外接触的机会，因此四个探针的定位也变得更加容易。

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