...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Pomiary Automatyka Kontrola >Pomiary i analiza topografii powierzchni wzorców kontrolnych typu Cprzeznaczonych do sprawdzania profilometrów stykowych
【24h】

Pomiary i analiza topografii powierzchni wzorców kontrolnych typu Cprzeznaczonych do sprawdzania profilometrów stykowych

机译：用于检查接触轮廓仪的C型控制标准表面的形貌测量和分析

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

W pracy przedstawiono zagadnienia związane z analizą topografii powierzchni wzorców kontrolnych typu C (w odmianach C2 i C3) przeznaczonych do sprawdzania profilometrów stykowych. Wykazano, iż wzorce tego typu mogą być sprawdzane za pomocą aparatury pomiarowej wykorzystującej nowoczesne metody optyczne - koherencyjną interferometrię korelacyjną oraz konfokalną laserową mikroskopię skaningową. Rozpatrzenie możliwości zastosowania różnych metod umożliwia opracowanie procedur kalibracyjnych stosowanych dla urządzeń stykowych.%In modem measurement technique there are used many groups of methods for assessment of geometrical structure of surface (GSS). The most important mechanical methods, which have played the predominant role for many years in this type of measurements, are the stylus methods. They are realized by stylus profilometers characterized by high accuracy and resolution as well as possibility of assessment of surface topography in 2D and 3D. To obtain a high accuracy and repeatability of measurements, the stylus profilometers should be periodically calibrated. The standard procedures include diagnostics of the general conditions of a measuring instrument as well as testing its metrological parameters. In most cases these procedures are realized by calibration specimens (material and programmable). In the paper issues related to measurements and analysis of the surface topography of calibration specimens of type C (variations C2 and C3) for calibrating the stylus profilometers are presented. It is shown that specimens of these types can be assessed by advanced measuring systems using optical methods e.g. CCI {Coherence Correlation Interferometry) and CLSM {Confocal Laser Scanning Microscopy). Consideration of the possibility of using different methods allows working out proper calibration procedures for the stylus instruments.
机译：本文提出了与旨在检查接触轮廓仪的C型控制标准品（在C2和C3中）的表面形貌分析有关的问题。已经表明，可以使用测量设备使用现代光学方法（相干相关干涉法和共聚焦激光扫描显微镜）来检查此类标准。考虑到使用不同方法的可能性，可以开发用于接触设备的校准程序。％在现代测量技术中，使用了许多方法来评估表面的几何结构（GSS）。多年来，在这种类型的测量中起主要作用的最重要的机械方法是触控笔方法。它们由具有高精度和高分辨率以及可评估2D和3D表面形貌特征的测针轮廓仪实现。为了获得高精度和可重复性的测量，应定期校准测针轮廓仪。标准程序包括诊断测量仪器的一般状况以及测试其计量​​参数。在大多数情况下，这些程序是通过校准样本（材料和可编程）来实现的。在本文中，提出了与用于校准测针轮廓仪的C型校准样本（变量C2和C3）的表面形貌的测量和分析有关的问题。结果表明，可以使用光学方法，例如光学方法，通过先进的测量系统对这些类型的样品进行评估。 CCI（相干相关干涉法）和CLSM（共聚焦激光扫描显微镜）。考虑使用不同方法的可能性可以制定出针对测针仪器的正确校准程序。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号